11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。無塵室是現代科技發展中的重要支撐，為各個領域的創新和進步提供了穩固的基礎。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。江蘇口罩生產車間環境無塵室檢測分析單向流和非單向流組合的氣流。

4.1.2潔凈廠房凈化空調系統的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區總平面布置時，應按潔凈生產、非潔凈生產、輔助生產、公用動力系統和辦公、生活等功能區合理布局。潔凈廠房宜根據電子產品生產工藝特點和各種功能區的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、發塵少的材料。

應檢查產品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數據，不得以過濾器所屬類別定義數據代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網或阻漏層的，裝飾網或阻漏層是否完好、繃緊。應檢查產品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數據，不得以過濾器所屬類別定義數據代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網或阻漏層的，裝飾網或阻漏層是否完好、繃緊。潔凈室被污染后,凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。無塵室的設計充分考慮了環境污染的來源。安徽半導體凈化車間無塵室檢測目的

無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數量。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好

1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好