激光干涉儀的使用方法：透鏡面形檢測：調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現干涉條紋，條紋越少精度越高。此外，干涉圖像與對準系統同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關（清零），調整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調節高度（凹透鏡向下調節高度）到第2個星點出現的時候調節標準鏡頭調節旋鈕，使圖像出現貓眼像，標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。上海高精度測量激光干涉儀

激光干涉儀常見故障及解決方法：開機無顯示：1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整：1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調節不明顯：檢查高度調節旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗：調節干涉儀上的亮度調節旋鈕。干涉條紋亂：檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到：調整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動：調節標準鏡頭的圓形圖像。河北大規模激光干涉儀激光干涉儀的應用：數控機床動態性能檢測。

激光干涉儀在數控機床檢定中的應用：隨著數控機床應用的普及，采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中激光干涉儀應用比較多。與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數據，為機床誤差修正提供依據，位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。

數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統就是增量值補償的表示之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。機床系統種類繁多，正逐步向自動補償邁進。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。

Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調整精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調整“整體”，再次對準反射鏡光靶。激光干涉儀可以進驅動系統的響應特性分析。山東激光干涉儀廠家供應

激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。上海高精度測量激光干涉儀

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。上海高精度測量激光干涉儀