原位芯片掌握先進的光刻技術，為企業提供光刻代加工服務。電子束曝光技術簡稱“光刻”，是當前**常用的微納加工方案，充當模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達到1納米，但是實際情況下很難，儀器輕微的振動、外界磁場的干擾、操作人員的經驗都會影響**終結果。“目前電子束曝光的精度大約在60-80納米左右，相當于人頭發絲的千分之一。隨著微納器件的小型化、精細化發展，光刻技術步驟繁瑣、光刻膠易殘留難清洗的局限也越發凸顯。”在光刻技術上還有很大的提升以及研究空間。正規微納代工技術

納米工藝加工平臺的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學氣相沉積及干法刻蝕、結構與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時具備**技術的電子束光刻、聚焦離子束沉積與加工、深硅刻蝕等工藝能力。 有時候加工平臺一年會有一次開放日，有幸走進潔凈室體驗參觀高精尖微納加工設備的學生們，通過了解微米納米尺度的結構與器件加工過程，直觀感受芯片的前世今生。 走出潔凈室，學生們還有機會親自動手操作光學顯微鏡、3D數碼顯微鏡等測試設備，觀察領略微米世界的精彩。 安徽專業微納代工

目前可以實現表面微納結構的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結構，該方法優勢在于精度高，得到的微納結構形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工出遠小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗發現，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領域具有獨特優勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術可以實現納米尺寸結構的加工； （3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。 （4）等離子刻蝕技術，等離子刻蝕技術是應用*****的微納米加工手段，加工精度高，是集成電路制造中**關鍵的工藝之一。 （5）沉積法，主要包括物***相沉積和化學氣相沉積，該方法主要是利用氣相發生的物理化學過程，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬，可以用來實現微納米結構涂層的制造。 （6）微納增材制造技術，微納增材制造技術主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術，由于微納增材技術可以不受形狀限制，可多材料協同制造，具有較大的發展前景。

超短脈沖激光微細加工技術指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統的激光打標、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫療、精密加工、透明材料及微電子學等領域具有很好的應用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業應用，超短脈沖激光微納加工技術將開拓更為廣闊的應用領域，成為諸多行業不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻力量。

激光微納加工制造是微納制造技術的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用，改變材料的物態和性質，實現微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端，而使制造過程所利用的物理效應、作用機理完全不同于傳統制造，其制造復雜結構的能力與品質遠高于傳統制造，由此產生了一批新技術（如光刻、近場納米制造、干涉誘導加工、微焊接等）、一批新產品（如大規模集成電路、MEMS/NEMS等）、一批產品的高性能化（如航空發動機、燃氣輪機、太陽能電池等）和相應的高新技術產業群。 激光微納制造涉及光學、物理、材料、化學、生物、信息、控制、機械、納米科技等學科，必將推動制造及相關學科的深入發展。并為能源、航空、IC制造、**、汽車、生物、醫療等領域實現跨越式發展提供重要的制造支撐。江蘇微納代工技術

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"在微納加工世界，灰塵就是‘導彈’，頭發絲就是‘火箭’，平時我們不在意的小細節都會對芯片的精度產生重大影響！”微納加工平臺算得上是世上**干凈的實驗室了，做微納加工工藝的工程師們，在進入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經過風淋間吹掃全身，并***除塵毯，方得進入潔凈室。然后進行各個工藝的操作，每個工程師各司其職，互不干涉。在工藝過程中遇到了一些技術難題，工程師們會集中起來一起討論。正規微納代工技術

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