中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測中，打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車間。針對 10 級光刻 區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，可實時采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達 0.05μm，檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設(shè)備聯(lián)動，當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時自動調(diào)節(jié)曝光環(huán)境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達標(biāo)率達 99.96%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 企業(yè)提供 24 小時在線監(jiān)測服務(wù)，隨時掌握環(huán)境動態(tài)！十級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點強化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達 0.1μm，配合濕度動態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達標(biāo)率 99.93%。蘇州萬級車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，可與企業(yè)現(xiàn)有設(shè)備無縫集成，降低企業(yè)改造成本！

中源綠凈在生物制藥發(fā)酵潔凈車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了溫濕度 - 氧氣濃度多維度方案。應(yīng)用場景：生物發(fā)酵罐潔凈區(qū)。針對 發(fā)酵的 B 級潔凈區(qū)，配置防爆型監(jiān)測終端，同步監(jiān)測發(fā)酵車間溫度（25~30℃，精度 ±0.3℃）、濕度（50%~70% RH，精度 ±3%）、氧氣濃度（19%~21%，精度 ±0.1%）及懸浮粒子濃度。采用電化學(xué)氧氣傳感器實現(xiàn)實時監(jiān)測，響應(yīng)時間≤10 秒，數(shù)據(jù)存儲容量支持 180 天全量回溯。系統(tǒng)對接發(fā)酵控制系統(tǒng)，當(dāng)氧氣濃度偏離 范圍（20.5%±0.2%）時自動調(diào)節(jié)通風(fēng)量，使發(fā)酵單位產(chǎn)量提升 12%。通過微生物濃度趨勢分析，提前 8 小時預(yù)警污染風(fēng)險，使發(fā)酵染菌率下降 35%。已在華北制藥、聯(lián)邦制藥等企業(yè)應(yīng)用，符合 GMP 生物制品要求，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。

中源綠凈為電子封裝潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測問題。針對芯片封裝的 100 級潔凈區(qū)，配置了多參數(shù)集成監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、VOCs 濃度（檢測范圍 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、溫濕度及靜電電壓（量程 - 1000~+1000V）。采用光離子化傳感器（PID）檢測有機揮發(fā)物，響應(yīng)時間≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU（風(fēng)機過濾單元）聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動提升風(fēng)速至 0.45m/s，使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在先進封裝車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達標(biāo)率保持在 99.95% 以上。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，助力 30 + 食品加工企業(yè)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，減少食品召回！

中源綠凈針對化妝品膏體灌裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微生物與空氣潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應(yīng)用場景：化妝品膏霜灌裝潔凈車間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，在 C 級灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每 1 小時檢測 1 次）、車間溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 45%~65% RH）及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù)，檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 2 小時，準(zhǔn)確率達 98.6%。通過微生物濃度趨勢分析，提前 4 小時預(yù)警污染風(fēng)險，配合灌裝設(shè)備消毒聯(lián)動，使產(chǎn)品微生物超標(biāo)率下降 58%。已服務(wù)于歐萊雅、資生堂等企業(yè)，助力其通過化妝品 GMP 認(rèn)證，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，為 50 + 科研機構(gòu)保障實驗環(huán)境，實驗數(shù)據(jù)重現(xiàn)性顯著提高！無塵車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器廠家

中源綠凈環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，助力 55 + 乳制品廠冷鏈監(jiān)測，腐壞率降 5%！十級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈為光學(xué)鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對鏡片鍍膜的 10 級潔凈區(qū)，部署了超高精度監(jiān)測終端，可檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)（LIBS）檢測氣體純度，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率達 10 次 / 秒。通過與鍍膜機聯(lián)動控制，當(dāng)氣體純度不達標(biāo)時自動切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學(xué)、舜宇光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用，滿足 ISO 10110 光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達標(biāo)率維持在 99.9%。十級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范