中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級(jí)注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時(shí)自動(dòng)優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測方案，已成功應(yīng)用于 30 + 行業(yè)，滿足不同場景需求，為企業(yè)保駕護(hù)航！蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測在線監(jiān)測

中源綠凈為電子封裝潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測問題。針對芯片封裝的 100 級(jí)潔凈區(qū)，配置了多參數(shù)集成監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、VOCs 濃度（檢測范圍 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、溫濕度及靜電電壓（量程 - 1000~+1000V）。采用光離子化傳感器（PID）檢測有機(jī)揮發(fā)物，響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升風(fēng)速至 0.45m/s，使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在先進(jìn)封裝車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.95% 以上。深圳十級(jí)環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器使用步驟中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測服務(wù)，助力 30 + 食品企業(yè)控制生產(chǎn)環(huán)境，產(chǎn)品不合格率大幅降低！

中源綠凈為醫(yī)療器械潔凈車間定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了動(dòng)態(tài)生產(chǎn)過程的潔凈管控。應(yīng)用場景：醫(yī)療器械組裝潔凈車間。依據(jù) ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn)，在 8 級(jí)潔凈區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（檢測下限 1 粒 / 升）、工作臺(tái)面潔凈度、人員進(jìn)出區(qū)壓差及微生物濃度。采用接觸式采樣與空氣采樣相結(jié)合的方式，每小時(shí)生成一次潔凈度分析報(bào)告。通過人員行為與潔凈度關(guān)聯(lián)分析，提前預(yù)警違規(guī)操作風(fēng)險(xiǎn)，使醫(yī)療器械組裝過程中的潔凈度不合格率下降 55%。已在邁瑞醫(yī)療、強(qiáng)生醫(yī)療等企業(yè)應(yīng)用，通過 FDA 現(xiàn)場檢查，潔凈度監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署，可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈為 65 + 涂料廠做環(huán)境監(jiān)測，有害物揮發(fā)減少 25%，車間環(huán)境改善！

中源綠凈在食品凍干潔凈車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了溫濕度 - 真空度多維度監(jiān)測方案。針對凍干食品生產(chǎn)的 C 級(jí)潔凈區(qū)，配置了耐高溫監(jiān)測終端，同步監(jiān)測凍干艙內(nèi)溫度（-50~80℃，精度 ±0.5℃）、真空度（0~1000Pa，精度 ±5Pa）、車間微粒濃度及濕度。采用電容式真空傳感器實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測量，數(shù)據(jù)更新周期為 5 秒 / 次，確保捕捉凍干關(guān)鍵階段的參數(shù)變化。系統(tǒng)對接凍干工藝管理軟件，自動(dòng)生成參數(shù)趨勢報(bào)告，使凍干食品水分含量合格率提升 50%。該系統(tǒng)已在好想你、三只松鼠等企業(yè)應(yīng)用，符合 GB 23790 凍干食品衛(wèi)生規(guī)范，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，助力 25 + 油墨廠 VOCs 回收，利用率提升 30%！蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測在線監(jiān)測

中源綠凈環(huán)境監(jiān)測服務(wù)，使 45 + 博物館文物存儲(chǔ)環(huán)境穩(wěn)定，老化速度減緩！蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測在線監(jiān)測

中源綠凈為核電部件檢測潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了輻射與潔凈度協(xié)同監(jiān)測能力。應(yīng)用場景：核電承壓部件無損檢測潔凈室。針對檢測區(qū) 8 級(jí)潔凈環(huán)境，部署耐輻射監(jiān)測終端（耐受累計(jì)輻射劑量 100kGy），同步采集 1μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、空氣中放射性氣溶膠含量（量程 0~100Bq/m3，精度 ±5Bq/m3）、溫濕度及氣壓。采用半導(dǎo)體輻射探測器實(shí)現(xiàn)放射性實(shí)時(shí)監(jiān)測，響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，數(shù)據(jù)傳輸采用光纖加密方式，確保抗干擾性和保密性。系統(tǒng)具備遠(yuǎn)程操控功能，支持在輻射控制區(qū)外完成參數(shù)配置與數(shù)據(jù)調(diào)取，減少人員輻射暴露風(fēng)險(xiǎn)。通過與通風(fēng)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升換氣次數(shù)至 60 次 / 小時(shí)，使部件檢測缺陷誤判率下降 45%。已在中核武漢核電運(yùn)行技術(shù)股份有限公司等應(yīng)用，符合 GB 18871 輻射防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。蘇州模塊化環(huán)境監(jiān)測在線監(jiān)測