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蘇州百萬(wàn)級(jí)潔凈室計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-08-26

中源綠凈針對(duì)電子芯片測(cè)試場(chǎng)景開(kāi)發(fā)的模塊化潔凈室系統(tǒng),聚焦微粒與靜電的雙重管控。應(yīng)用場(chǎng)景:電子芯片模塊化測(cè)試潔凈室。該模塊化方案采用鋁合金框架與防靜電潔凈板材,單 200㎡100 級(jí)潔凈區(qū)組裝需 30 天,較傳統(tǒng)建設(shè)周期縮短 50%。潔凈室內(nèi)部配置防靜電地面(表面電阻 10?~10?Ω)與離子風(fēng)扇陣列,靜電電壓控制在 ±50V 以?xún)?nèi)。環(huán)境監(jiān)測(cè)終端每 1.5 平方米部署 1 個(gè),同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度(檢測(cè)下限 1 粒 / 升)、靜電電位(量程 - 1000~+1000V,精度 ±5V)、空氣流速(0.3~0.5m/s)及溫濕度。通過(guò)與測(cè)試設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部 FFU 過(guò)濾單元,響應(yīng)時(shí)間≤10 秒。方案支持快速擴(kuò)容,新增 50㎡潔凈區(qū)需 7 天。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用,某 12 英寸芯片測(cè)試車(chē)間應(yīng)用后,測(cè)試不良率從 3.2% 降至 1.1%,環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率維持在 99.9% 以上。中源綠凈為 60 + 無(wú)菌灌裝車(chē)間建模塊化潔凈室,灌裝合格率提升至 99.9%,減少物料浪費(fèi)!蘇州百萬(wàn)級(jí)潔凈室計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

蘇州百萬(wàn)級(jí)潔凈室計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū),潔凈室

中源綠凈模塊化潔凈室采用 CFD 技術(shù)進(jìn)行動(dòng)態(tài)氣流模擬設(shè)計(jì),通過(guò)優(yōu)化氣流組織使湍流度控制≤15%,較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升 30% 潔凈效率,確保潔凈室內(nèi)的污染物能被快速有效排出。在半導(dǎo)體封裝車(chē)間中,這種優(yōu)化的氣流設(shè)計(jì)使晶圓表面顆粒沉降率降低至 0.01 顆 /(cm2?h),提升產(chǎn)品良率。氣流模擬設(shè)計(jì)會(huì)根據(jù)潔凈室的空間布局、設(shè)備擺放與生產(chǎn)流程,制定個(gè)性化的氣流方案,避免出現(xiàn)氣流死角與渦流現(xiàn)象。在生物醫(yī)藥的無(wú)菌灌裝區(qū),單向流氣流設(shè)計(jì)能有效隔離操作人員與產(chǎn)品,防止交叉污染。食品加工潔凈室的氣流系統(tǒng)則注重溫濕度均勻分布,配合智能控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)調(diào)控。通過(guò)氣流模擬還能優(yōu)化 FFU 風(fēng)機(jī)的布局與運(yùn)行參數(shù),在保證潔凈效果的同時(shí)降低能耗。某電子企業(yè)的潔凈室通過(guò)氣流優(yōu)化設(shè)計(jì),在相同設(shè)備配置下潔凈度一級(jí),同時(shí)能耗降低 10%。這種動(dòng)態(tài)氣流模擬設(shè)計(jì)使模塊化潔凈室在不同場(chǎng)景下都能保持高效的潔凈能力,滿(mǎn)足各行業(yè)的潔凈要求深圳無(wú)塵車(chē)間潔凈室在線監(jiān)測(cè)中源綠凈的模塊化潔凈室,F(xiàn)FU 運(yùn)行噪音≤50dB,為 25 + 企業(yè)營(yíng)造安靜工作環(huán)境!

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中源綠凈模塊化潔凈室的智能照明系統(tǒng)采用 LED 平板燈,照度均勻度≥0.7,較傳統(tǒng)日光燈節(jié)能 50%。系統(tǒng)支持場(chǎng)景化燈光調(diào)節(jié),研發(fā)實(shí)驗(yàn)室可切換為防眩光模式,減少對(duì)精密實(shí)驗(yàn)的干擾;生產(chǎn)車(chē)間開(kāi)啟高亮度模式,確保操作人員清晰觀察產(chǎn)品細(xì)節(jié)。LED 平板燈使用壽命長(zhǎng),減少更換頻率與維護(hù)成本。生物醫(yī)藥無(wú)菌灌裝車(chē)間中,穩(wěn)定均勻的照明幫助操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)灌裝異常;電子元件組裝車(chē)間高亮度照明減少視覺(jué)疲勞導(dǎo)致的失誤,提升生產(chǎn)效率。智能照明與整體控制系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),無(wú)人時(shí)自動(dòng)降低亮度節(jié)約能源。這種多樣化照明解決方案適用于對(duì)光照有不同要求的各類(lèi)潔凈室場(chǎng)景,提升工作環(huán)境舒適度與實(shí)用性。

中源綠凈累計(jì)完成 29 個(gè)醫(yī)療手術(shù)室潔凈工程,涵蓋綜合手術(shù)室、骨科手術(shù)室、介入手術(shù)室等類(lèi)型,術(shù)后 率較行業(yè)平均水平降低 40%。手術(shù)室潔凈設(shè)計(jì)嚴(yán)格遵循《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》,采用層流送風(fēng)方式,手術(shù)區(qū)風(fēng)速保持在 0.25-0.3m/s,潔凈度等級(jí)達(dá)到 ISO 5 級(jí)。空調(diào)系統(tǒng)具備 的新風(fēng)處理功能,新風(fēng)量≥60m3/h?人,確保室內(nèi)空氣清新;設(shè)置空氣凈化機(jī)組,配備中效、高效兩級(jí)過(guò)濾,對(duì)細(xì)菌的過(guò)濾效率≥99%。手術(shù)室內(nèi)墻面采用防輻射潔凈涂料,可耐受伽馬射線消毒;地面采用防滑 PVC 地板,接縫熱熔焊接,無(wú)縫隙易清潔。配備醫(yī)用氣密門(mén),關(guān)門(mén)時(shí)自動(dòng)充氣密封,保證室內(nèi)正壓;設(shè)置 ICU 探視通道,采用雙層玻璃隔離,減少人員交叉 風(fēng)險(xiǎn)。所有設(shè)備管線暗裝,避免積塵,墻角采用圓弧過(guò)渡,符合衛(wèi)生防疫要求。?中源綠凈的模塊化潔凈室,壓力梯度可調(diào)節(jié)范圍 5-30Pa,為 30 + 企業(yè)滿(mǎn)足不同潔凈區(qū)需求!

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中源綠凈在航空航天潔凈室領(lǐng)域完成 17 個(gè)重點(diǎn)項(xiàng)目,服務(wù)于衛(wèi)星組裝、發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試等高精度場(chǎng)景,潔凈室溫度控制精度達(dá) ±0.1℃,獲得客戶(hù)高度認(rèn)可。航空航天潔凈室對(duì)環(huán)境參數(shù)要求嚴(yán)苛,設(shè)計(jì)中采用高精度恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng),濕度控制范圍 45%-55% RH,波動(dòng) ±3%。潔凈度等級(jí)根據(jù)工序需求達(dá)到 ISO 5 級(jí),部分關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到 ISO 4 級(jí),每立方米≥0.5μm 的微粒數(shù)控制在 3520 個(gè)以下。為減少振動(dòng)影響,車(chē)間采用彈簧減震器,設(shè)備基礎(chǔ)與地面分離,振動(dòng)位移控制在 0.01mm 以?xún)?nèi);墻面和頂棚采用蜂窩鋁板,具有良好的剛性和隔聲性能,室內(nèi)噪音≤50dB。設(shè)置防靜電接地系統(tǒng),接地電阻≤1Ω,工作臺(tái)面和地面電阻值控制在 10^6-10^9Ω 之間。潔凈室與外界連接的管道設(shè)置波紋管減震,風(fēng)口采用阻尼消聲設(shè)計(jì),避免氣流噪聲干擾精密儀器。配備激光粒子計(jì)數(shù)器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至中控室,確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定可靠。?中源綠凈模塊化潔凈室,過(guò)濾效率達(dá) 99.99%@0.3μm,已為 40 + 光學(xué)企業(yè)提升鏡片合格率!深圳0.5um潔凈室在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈為 20 + 納米材料廠打造模塊化潔凈室,粒徑≥0.1μm 粒子控制達(dá)標(biāo),材料純度提升!蘇州百萬(wàn)級(jí)潔凈室計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

中源綠凈模塊化潔凈室智能控制系統(tǒng)集成完善報(bào)警功能,實(shí)時(shí)監(jiān)控環(huán)境參數(shù),異常時(shí)及時(shí)預(yù)警并調(diào)控,保障環(huán)境穩(wěn)定。塵埃顆粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)調(diào)整 FFU 風(fēng)速,增加潔凈空氣供應(yīng);溫濕度波動(dòng)超 ±3℃時(shí)觸發(fā)聲光報(bào)警并啟動(dòng)應(yīng)急調(diào)控,通過(guò)空調(diào)調(diào)節(jié)恢復(fù)參數(shù)。系統(tǒng)支持多級(jí)報(bào)警,按異常程度通知不同層級(jí)管理人員,確保問(wèn)題及時(shí)處理。報(bào)警信息自動(dòng)記錄存儲(chǔ),便于追溯分析。半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間中,微小環(huán)境波動(dòng)影響產(chǎn)品質(zhì)量,智能報(bào)警在參數(shù)偏離初期預(yù)警,避免批量不良;某醫(yī)療器械企業(yè)通過(guò)報(bào)警系統(tǒng)在潔凈度超標(biāo)前處理,避免生產(chǎn)批次報(bào)廢。智能報(bào)警特性為潔凈室環(huán)境穩(wěn)定提供可靠保障,適用于對(duì)環(huán)境參數(shù)要求嚴(yán)格的行業(yè)。蘇州百萬(wàn)級(jí)潔凈室計(jì)數(shù)器使用說(shuō)明書(shū)

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