中源綠凈針對(duì)半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測(cè)方案,聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對(duì) 1000 級(jí)刻蝕區(qū),配置防腐蝕監(jiān)測(cè)終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測(cè)精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)局部排風(fēng),使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè),符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),潔凈度監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確率 99.92%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,操作簡單便捷,企業(yè)員工易上手使用!深圳激光環(huán)境監(jiān)測(cè)

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景:晶圓切割與劃片潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)切割區(qū),部署防靜電監(jiān)測(cè)終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期 2 秒)、車間濕度(45%~55% RH,精度 ±2%)、切割區(qū)溫度(23±1℃)及靜電電壓(量程 - 500~+500V)。采用激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm,配合濕度動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)算法,可將濕度波動(dòng)控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)暫停作業(yè),使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用,符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。無塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,助力 30 + 企業(yè)降低環(huán)境風(fēng)險(xiǎn),實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展!

中源綠凈針對(duì)化妝品膏體灌裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,聚焦于微生物與空氣潔凈度的協(xié)同監(jiān)測(cè)。應(yīng)用場(chǎng)景:化妝品膏霜灌裝潔凈車間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》,在 C 級(jí)灌裝區(qū)部署監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 1 小時(shí)檢測(cè) 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~25℃,濕度 45%~65% RH)及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù),檢測(cè)時(shí)間從傳統(tǒng) 48 小時(shí)縮短至 2 小時(shí),準(zhǔn)確率達(dá) 98.6%。通過微生物濃度趨勢(shì)分析,提前 4 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn),配合灌裝設(shè)備消毒聯(lián)動(dòng),使產(chǎn)品微生物超標(biāo)率下降 58%。已服務(wù)于歐萊雅、資生堂等企業(yè),助力其通過化妝品 GMP 認(rèn)證,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。
中源綠凈在食品添加劑潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了粉塵 - 微生物雙維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景:食品添加劑生產(chǎn)潔凈車間。針對(duì) C 級(jí)潔凈生產(chǎn)區(qū),配置防塵防潮監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè) 1μm 粉塵濃度(檢測(cè)下限 0.001mg/m3)、微生物總數(shù)(檢測(cè)頻率 1 次 / 小時(shí))、溫度(18~26℃,精度 ±0.5℃)及濕度(40%~60% RH)。采用光散射法粉塵傳感器,響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)支持 365 天全量回溯。系統(tǒng)對(duì)接生產(chǎn) MES 系統(tǒng),當(dāng)粉塵濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)除塵裝置,使添加劑純度(≥99.5%)達(dá)標(biāo)率提升 40%。通過微生物趨勢(shì)預(yù)警,提前 6 小時(shí)識(shí)別污染風(fēng)險(xiǎn),使產(chǎn)品微生物超標(biāo)率下降 60%。已在阜豐集團(tuán)、梅花生物等企業(yè)應(yīng)用,符合 GB 14881 食品生產(chǎn)規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),支持與多種管理系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)高效管理!

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境,采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm,檢測(cè)精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,當(dāng)微粒濃度超過閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速,使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈為 65 + 倉庫做環(huán)境監(jiān)測(cè),貨物霉變率降 12%,減少經(jīng)濟(jì)損失!深圳激光環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域,為 50 + 科研機(jī)構(gòu)保障實(shí)驗(yàn)環(huán)境,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)重現(xiàn)性顯著提高!深圳激光環(huán)境監(jiān)測(cè)
中源綠凈為電子芯片測(cè)試潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電的 管控。應(yīng)用場(chǎng)景:芯片 終測(cè)試潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)測(cè)試潔凈區(qū),部署防靜電監(jiān)測(cè)終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數(shù)據(jù)更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、測(cè)試區(qū)溫度(22±1℃)及濕度(40%~50% RH)。采用法拉第杯靜電傳感器實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,響應(yīng)時(shí)間≤0.5 秒,配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與測(cè)試設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)靜電超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)離子風(fēng)扇,使芯片測(cè)試不良率下降 42%。已在長電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用,符合 JEDEC JESD22-A114 靜電測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.94%。深圳激光環(huán)境監(jiān)測(cè)