中源綠凈為核電部件檢測潔凈室開發的環境監測系統，重點強化了輻射與潔凈度協同監測能力。應用場景：核電承壓部件無損檢測潔凈室。針對檢測區 8 級潔凈環境，部署耐輻射監測終端（耐受累計輻射劑量 100kGy），同步采集 1μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、空氣中放射性氣溶膠含量（量程 0~100Bq/m3，精度 ±5Bq/m3）、溫濕度及氣壓。采用半導體輻射探測器實現放射性實時監測，響應時間≤2 秒，數據傳輸采用光纖加密方式，確保抗干擾性和保密性。系統具備遠程操控功能，支持在輻射控制區外完成參數配置與數據調取，減少人員輻射暴露風險。通過與通風系統聯動，當微粒超標時自動提升換氣次數至 60 次 / 小時，使部件檢測缺陷誤判率下降 45%。已在中核武漢核電運行技術股份有限公司等應用，符合 GB 18871 輻射防護標準，環境監測數據合規率 100%。中源綠凈為 30 + 企業提供環境監測數據分析報告，為企業決策提供有力依據！無塵車間環境監測源頭廠家

中源綠凈為精密儀器裝配潔凈室開發的環境監測系統，重點解決了微振動與潔凈度的同步管控問題。針對光學儀器、精密量具的裝配 100 級潔凈區，配置了一體化監測終端，可同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、環境振動（頻率范圍 1~1000Hz，測量精度 ±0.001mm/s）、空氣流速（0.2~0.4m/s）等參數。采用壓電式振動傳感器實現高精度測量，數據采樣率達 1000Hz，確保捕捉細微振動信號。搭配振動源定位算法，能快速識別設備運行引發的振動超標，使精密儀器裝配精度提升 40%。該系統已適配蔡司、徠卡等企業的生產標準，在 顯微鏡裝配車間應用中，環境穩定性達標率保持在 99.92% 以上。凈化車間環境監測計數器校準規范中源綠凈環境監測服務，使 55 + 診斷試劑廠潔凈監測，靈敏度穩定性提 15%！

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監測中，構建了多粒徑微粒全流程管控體系。應用場景：電子元器件生產潔凈車間。針對 100 級至 1000 級潔凈環境，采用每 2 平方米 1 個監測終端的高密度部署，可實時采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達 50L/min，數據更新周期為 2 秒 / 次。系統搭載激光散射式粒子計數器， 小檢測粒徑達 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當微粒濃度超過閾值時自動聯動 FFU 風機過濾單元調節風速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業應用，符合 ISO 14644-1 潔凈室標準，連續運行數據顯示潔凈度達標率達 99.94%。

中源綠凈在半導體薄膜沉積潔凈室潔凈度監測中，推出了微粒 - 氣體純度聯動方案。應用場景：半導體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區，部署超高精度監測終端，同步檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、沉積氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔體壓差（≥20Pa）。采用激光散射法與氣相色譜聯用技術，氣體純度響應時間≤1 秒，微粒檢測分辨率達 0.05μm。系統與沉積設備聯動，當氣體雜質或微粒超標時自動切斷氣源，使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創等企業應用，符合 ISO 14644-1 標準，潔凈度穩定性達標率 99.95%。中源綠凈的環境監測方案，助力 30 + 企業提升環境管理水平，樹立良好企業形象！

中源綠凈在半導體晶圓光刻潔凈室潔凈度監測中，打造了超微顆粒 管控體系。應用場景：半導體晶圓光刻潔凈車間。針對 10 級光刻 區，采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署，可實時采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達 50L/min，數據更新周期為 1 秒 / 次。系統搭載激光誘導擊穿光譜粒子計數器， 小檢測粒徑達 0.05μm，檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設備聯動，當 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時自動調節曝光環境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺積電等企業應用，符合 SEMI F21 潔凈度標準，連續運行數據顯示潔凈度達標率達 99.96%。中源綠凈為 35 + 制革廠監測廢水，鉻含量去除率達 95%，環保達標無憂！蘇州千級環境監測檢測

中源綠凈的環境監測系統，支持與多種管理系統對接，實現數據高效管理！無塵車間環境監測源頭廠家

中源綠凈針對半導體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監測方案，聚焦于腐蝕性環境下的 監測。應用場景：半導體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區，配置防腐蝕監測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環境，實時監測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環境中仍保持 ±10% 以內。通過與蝕刻槽聯動控制，當微粒濃度超標時自動啟動局部排風，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務于華虹半導體、士蘭微等企業，符合 SEMI S2 安全標準，潔凈度監測準確率 99.92%。無塵車間環境監測源頭廠家