中源綠凈在半導體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測中，打造了超微顆粒 管控體系。應用場景：半導體晶圓光刻潔凈車間。針對 10 級光刻 區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，可實時采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導擊穿光譜粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達 0.05μm，檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設備聯(lián)動，當 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時自動調(diào)節(jié)曝光環(huán)境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺積電等企業(yè)應用，符合 SEMI F21 潔凈度標準，連續(xù)運行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達標率達 99.96%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，助力 55 + 乳制品廠冷鏈監(jiān)測，腐壞率降 5%！深圳千級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用步驟

中源綠凈為精密軸承研磨潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強化了粉塵與振動的協(xié)同管控。應用場景：精密軸承研磨加工潔凈車間。針對 1000 級研磨區(qū)，部署耐粉塵監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 1μm 粉塵濃度（采樣流量 50L/min）、研磨設備振動（頻率 1~500Hz，精度 ±0.001mm/s）、溫度（20~28℃）及濕度。采用激光測振技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣率達 1000Hz，可捕捉微米級振動。通過振動 - 粉塵關(guān)聯(lián)分析，提前預警研磨燒傷風險，使軸承圓度精度（≤0.5μm）達標率提升 40%。已在 SKF、NSK 應用，符合 ISO 12100 標準，環(huán)境穩(wěn)定性達標率 99.88%。蘇州芯片半導體環(huán)境監(jiān)測顆粒物中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設備，使用壽命達 8 年，節(jié)能率比行業(yè)高 20%，為企業(yè)節(jié)省大量成本！

中源綠凈針對半導體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應用場景：半導體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制，當微粒濃度超標時自動啟動局部排風，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務于華虹半導體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標準，潔凈度監(jiān)測準確率 99.92%。

中源綠凈在精密光學鍍膜潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了微粒 - 氣體純度雙維度方案。應用場景：光學鏡片鍍膜潔凈車間。針對 10 級鍍膜區(qū)，配置超高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%）、溫度（20~25℃，精度 ±0.3℃）及濕度（30%~40% RH）。采用激光誘導擊穿光譜技術(shù)檢測氣體純度，響應時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率 10 次 / 秒。通過與鍍膜機聯(lián)動控制，當氣體純度不達標時自動切斷氣源，使鏡片鍍膜透光率達標率提升 42%。已在舜宇光學、蔡司光學應用，符合 ISO 10110 光學標準，環(huán)境管控達標率 99.95%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，可與企業(yè)現(xiàn)有設備無縫集成，降低企業(yè)改造成本！

中源綠凈針對醫(yī)療器械滅菌包裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微粒與密封性的協(xié)同管控。應用場景：醫(yī)療器械滅菌包裝車間。依據(jù) ISO 11607 無菌包裝標準，在 8 級潔凈包裝區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、包裝材料表面微生物（每 2 小時檢測 1 次）、車間溫濕度（溫度 20~24℃，濕度 30%~50% RH）及氣壓。采用表面接觸式微生物采樣技術(shù)，檢測時間縮短至 30 分鐘，準確率達 99%。通過微粒濃度與包裝密封性關(guān)聯(lián)分析，提前預警包裝污染風險，配合包裝機參數(shù)調(diào)節(jié)，使包裝密封不良率下降 55%。已服務于強生醫(yī)療、美敦力等企業(yè)，助力其通過 FDA 無菌包裝驗證，環(huán)境穩(wěn)定性達標率保持在 99.91% 以上。中源綠凈為 40 + 化工企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測，有毒氣體檢測響應時間＜0.8 秒，保障生產(chǎn)安全！蘇州芯片半導體環(huán)境監(jiān)測顆粒物

中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 企業(yè)提供一站式環(huán)境監(jiān)測解決方案，省心省力！深圳千級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用步驟

中源綠凈為光學鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對鏡片鍍膜的 10 級潔凈區(qū)，部署了超高精度監(jiān)測終端，可檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導擊穿光譜技術(shù)（LIBS）檢測氣體純度，響應時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率達 10 次 / 秒。通過與鍍膜機聯(lián)動控制，當氣體純度不達標時自動切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學、舜宇光學等企業(yè)應用，滿足 ISO 10110 光學鏡片標準，環(huán)境管控達標率維持在 99.9%。深圳千級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用步驟