中源綠凈為電子封裝潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測問題。針對芯片封裝的 100 級潔凈區(qū)，配置了多參數(shù)集成監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、VOCs 濃度（檢測范圍 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、溫濕度及靜電電壓（量程 - 1000~+1000V）。采用光離子化傳感器（PID）檢測有機(jī)揮發(fā)物，響應(yīng)時間≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動提升風(fēng)速至 0.45m/s，使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在先進(jìn)封裝車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.95% 以上。中源綠凈為 55 + 制藥機(jī)械廠做環(huán)境監(jiān)測，設(shè)備潔凈度升，藥品污染風(fēng)險降！萬級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測

中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，實時監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時 10 秒內(nèi)完成動態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。在線環(huán)境監(jiān)測顆粒物在線監(jiān)測中源綠凈為 45 + 烘焙店做環(huán)境監(jiān)測，面團(tuán)發(fā)酵更穩(wěn)定，產(chǎn)品口感一致性提 15%！

中源綠凈在航空航天精密部件裝配潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了微振動 - 潔凈度雙維度方案。應(yīng)用場景：航天發(fā)動機(jī)部件裝配潔凈室。針對 8 級潔凈裝配區(qū)，配置高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（檢測下限 1 粒 / 升）、環(huán)境振動（頻率范圍 1~1000Hz，測量精度 ±0.0005mm/s）、空氣流速（0.2~0.4m/s）及溫濕度。采用激光多普勒振動測量技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 2000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源識別與隔離方案，使部件裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 45%。系統(tǒng)對接 MES 系統(tǒng)實現(xiàn)數(shù)據(jù)全追溯，已在航天科技集團(tuán)、中國商飛應(yīng)用，符合 AS9100 航空質(zhì)量管理體系，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.92%。

中源綠凈在醫(yī)療器械清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了水質(zhì) - 微粒雙參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：醫(yī)療器械清洗消毒潔凈車間。針對手術(shù)器械清洗的 B 級潔凈區(qū)，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局，實時監(jiān)測清洗用水微粒濃度（0.5μm 粒徑，檢測下限 10 粒 / L）、車間空氣浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次）、水溫（40~60℃，精度 ±0.5℃）及相鄰區(qū)域壓差（≥15Pa）。系統(tǒng)搭載的在線水質(zhì)傳感器響應(yīng)時間≤2 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率 5 次 / 秒，可同步捕捉水中與空氣中的污染風(fēng)險。通過與清洗設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)水質(zhì)微粒超標(biāo)時自動切換過濾系統(tǒng)，使器械清洗合格率提升 38%。已在邁瑞醫(yī)療、威高集團(tuán)應(yīng)用，符合 ISO 15883 清洗消毒標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，為 50 + 企業(yè)提供專業(yè)校準(zhǔn)服務(wù)，確保監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確！

中源綠凈為半導(dǎo)體芯片封裝潔凈室開發(fā)的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，重點強(qiáng)化了微粒與靜電協(xié)同監(jiān)測能力。應(yīng)用場景：芯片封裝測試潔凈車間。依據(jù) JEDEC J-STD-033 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級封裝區(qū)部署每 2 平方米 1 個監(jiān)測點，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±5V）及空氣流速（0.3~0.5m/s）。采用非接觸式靜電傳感器與激光粒子計數(shù)器組合方案，響應(yīng)時間均≤0.5 秒。系統(tǒng)具備與鍵合設(shè)備聯(lián)動功能，參數(shù)異常時立即觸發(fā)離子風(fēng)扇調(diào)節(jié)，使引線鍵合不良率下降 48%。已在長電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，讓 25 + 實驗室溫濕度控制更準(zhǔn)，實驗誤差降 8%！深圳凈化車間環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈為 30 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測設(shè)備維護(hù)服務(wù)，延長設(shè)備使用壽命！萬級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測

中源綠凈在光伏組件層壓無塵車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 溫度 - 濕度多維度方案。應(yīng)用場景：光伏組件層壓無塵車間。針對 1000 級層壓區(qū)，配置耐高溫監(jiān)測終端（可耐受 60℃環(huán)境），同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度（檢測下限 0.001mg/m3）、層壓溫度（130~150℃，精度 ±1℃）、相對濕度（30%~50% RH，精度 ±3%）及氣壓。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù)，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接層壓機(jī)控制系統(tǒng)，溫濕度異常時自動調(diào)節(jié)，使光伏組件層壓氣泡不良率下降 38%。已在晶澳太陽能、天合光能等應(yīng)用，符合 IEC 61215 光伏組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.86%。萬級環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測