中源綠凈的潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),在晶圓制造的光刻車間,超小粒徑監(jiān)測(cè)與電磁抗干擾功能結(jié)合,可保障光刻過程的環(huán)境穩(wěn)定,避免微粒與電磁干擾影響光刻精度;在芯片封裝的引線鍵合車間,系統(tǒng)與 FFU 的聯(lián)動(dòng)控制可快速應(yīng)對(duì)潔凈度波動(dòng),確保鍵合過程中芯片與引線的連接質(zhì)量;在半導(dǎo)體材料倉儲(chǔ)區(qū),系統(tǒng)同步監(jiān)測(cè)溫濕度與微粒濃度,防止材料受潮或受污染,保障后續(xù)生產(chǎn)的原料質(zhì)量。此外,系統(tǒng)還支持半導(dǎo)體行業(yè)特有的 “無塵室分區(qū)監(jiān)測(cè)”,可根據(jù)車間內(nèi)的潔凈級(jí)別(如 1 級(jí)、10 級(jí)、100 級(jí))劃分監(jiān)測(cè)區(qū)域,每個(gè)區(qū)域設(shè)置的監(jiān)測(cè)參數(shù)與預(yù)警閾值,滿足不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的差異化需求。中源綠凈的潔凈度環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),通過電子半導(dǎo)體行業(yè)的定制功能,為企業(yè)解決了行業(yè)特有的監(jiān)測(cè)痛點(diǎn),成為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中不可或缺的環(huán)境管控工具。中源綠凈為 50 + 光伏企業(yè)建模塊化潔凈室,粉塵濃度控制在 0.3μm/㎡?h 以下,提升組件良率!十級(jí)潔凈室在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈潔凈度在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可同步記錄潔凈設(shè)備(如 FFU、空氣過濾器、空調(diào)系統(tǒng))的維護(hù)數(shù)據(jù),包括維護(hù)時(shí)間、維護(hù)內(nèi)容(如更換濾芯、清潔設(shè)備、校準(zhǔn)傳感器)、維護(hù)人員、維護(hù)后設(shè)備運(yùn)行參數(shù)(如 FFU 轉(zhuǎn)速、過濾器壓差),數(shù)據(jù)記錄完整性達(dá) 100%,可長(zhǎng)期存儲(chǔ)(存儲(chǔ)期限≥5 年)。電子廠潔凈設(shè)備的維護(hù)情況直接影響潔凈度穩(wěn)定性與設(shè)備使用壽命,若缺乏完整的維護(hù)檔案,可能導(dǎo)致維護(hù)不及時(shí)或過度維護(hù) —— 某電子廠 FFU 因未記錄維護(hù)時(shí)間,超過建議維護(hù)周期(12 個(gè)月)仍未更換濾芯,導(dǎo)致 FFU 過濾效率下降,潔凈區(qū)粒子濃度超標(biāo),影響產(chǎn)品生產(chǎn)。該系統(tǒng)通過記錄維護(hù)數(shù)據(jù),自動(dòng)生成設(shè)備維護(hù)提醒,例如 FFU 運(yùn)行滿 10 個(gè)月時(shí),推送濾芯更換提醒;空氣過濾器壓差達(dá)到設(shè)定閾值(如初始?jí)翰畹?2 倍)時(shí),提醒清潔或更換。系統(tǒng)還可生成設(shè)備全生命周期報(bào)告,包含設(shè)備采購(gòu)時(shí)間、安裝時(shí)間、歷次維護(hù)記錄、故障記錄、當(dāng)前運(yùn)行狀態(tài)等信息,幫助設(shè)備主管分析設(shè)備使用壽命規(guī)律蘇州百級(jí)潔凈室顆粒物在線監(jiān)測(cè)中源綠凈模塊化潔凈室,可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控率 100%,為 35 + 企業(yè)實(shí)時(shí)掌握室內(nèi)環(huán)境數(shù)據(jù)!

中源綠凈應(yīng)對(duì)網(wǎng)絡(luò)異常情況,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)具備斷網(wǎng)應(yīng)急本地聯(lián)動(dòng)控制功能,當(dāng)網(wǎng)絡(luò)中斷時(shí),系統(tǒng)自動(dòng)切換至本地控制模式,聯(lián)動(dòng)控制器內(nèi)置 8GB 本地存儲(chǔ)模塊,可記錄 FFU 運(yùn)行參數(shù)、潔凈度數(shù)據(jù)、聯(lián)動(dòng)記錄等信息,確保聯(lián)動(dòng)功能不中斷。本地模式下,系統(tǒng)仍可根據(jù)預(yù)設(shè)閾值自動(dòng)調(diào)節(jié) FFU 風(fēng)速,發(fā)出本地聲光報(bào)警,操作人員可通過現(xiàn)場(chǎng)終端查看實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、調(diào)整基礎(chǔ)聯(lián)動(dòng)參數(shù)。待網(wǎng)絡(luò)恢復(fù)后,系統(tǒng)自動(dòng)將本地存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)同步至云端與平臺(tái),實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)無縫銜接,避免數(shù)據(jù)斷層。在網(wǎng)絡(luò)不穩(wěn)定的偏遠(yuǎn)地區(qū)工廠,應(yīng)急聯(lián)動(dòng)可保障監(jiān)測(cè)管控持續(xù)有效;在大型園區(qū)的網(wǎng)絡(luò)維護(hù)時(shí)段,系統(tǒng)可正常實(shí)現(xiàn) FFU 與潔凈度的本地聯(lián)動(dòng),不影響生產(chǎn)。適用場(chǎng)景包括網(wǎng)絡(luò)條件較差的企業(yè)、偏遠(yuǎn)地區(qū)車間、對(duì)聯(lián)動(dòng)連續(xù)性要求高的合規(guī)性生產(chǎn)場(chǎng)所等,本地聯(lián)動(dòng)響應(yīng)速度與聯(lián)網(wǎng)狀態(tài)一致(延遲≤3 秒),支持本地參數(shù)備份與恢復(fù),操作人員可通過 U 盤導(dǎo)出本地?cái)?shù)據(jù),在網(wǎng)絡(luò)長(zhǎng)期中斷時(shí)手動(dòng)提取,應(yīng)急功能無需額外配置,系統(tǒng)自動(dòng)啟用,保障聯(lián)動(dòng)管理的連續(xù)性與可靠性。?
中源綠凈基于節(jié)能算法研發(fā),其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)可根據(jù)潔凈度實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)與生產(chǎn)狀態(tài),智能優(yōu)化 FFU 運(yùn)行參數(shù),相比傳統(tǒng)固定風(fēng)速運(yùn)行模式,可降低能耗 35% 以上。系統(tǒng)支持 “潔凈度達(dá)標(biāo)時(shí)低速運(yùn)行、生產(chǎn)高峰時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)速、非生產(chǎn)時(shí)段休眠運(yùn)行” 的多模式聯(lián)動(dòng),同時(shí)通過 FFU 運(yùn)行負(fù)荷均衡分配,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。在電子組裝車間的夜間非生產(chǎn)時(shí)段,系統(tǒng)可將 FFU 風(fēng)速降至 0.3m/s 閾值,維持基礎(chǔ)潔凈度的同時(shí)降低能耗;在制藥車間的生產(chǎn)批次間隙,系統(tǒng)可根據(jù)潔凈度恢復(fù)情況,逐步調(diào)整 FFU 風(fēng)速,避免持續(xù)高速運(yùn)行造成的能源浪費(fèi)。適用場(chǎng)景包括 24 小時(shí)運(yùn)行車間、節(jié)能要求高的企業(yè)、大型潔凈室集群等,系統(tǒng)內(nèi)置能耗統(tǒng)計(jì)模塊,可自動(dòng)記錄 FFU 聯(lián)動(dòng)運(yùn)行的能耗數(shù)據(jù),生成節(jié)能分析報(bào)告,幫助企業(yè)優(yōu)化聯(lián)動(dòng)策略,同時(shí)支持與園區(qū)能源管理系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)整體能耗管控,聯(lián)動(dòng)節(jié)能效果經(jīng)第三方檢測(cè)認(rèn)證,長(zhǎng)期運(yùn)行可降低企業(yè)運(yùn)營(yíng)成本,兼顧環(huán)境管控與綠色生產(chǎn)需求。?中源綠凈模塊化潔凈室,可集成在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),為 35 + 企業(yè)實(shí)時(shí)預(yù)警環(huán)境異常!

中源綠凈適配各類實(shí)驗(yàn)室需求,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室 FFU 潔凈度數(shù)據(jù)聯(lián)動(dòng)分析,支持科研實(shí)驗(yàn)室、分析實(shí)驗(yàn)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室等不同類型實(shí)驗(yàn)室的聯(lián)動(dòng)需求,可整合潔凈度、FFU 運(yùn)行參數(shù)、溫濕度等數(shù)據(jù),通過算法分析聯(lián)動(dòng)效果與環(huán)境變化的關(guān)聯(lián),為實(shí)驗(yàn)環(huán)境優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。系統(tǒng)具備低振動(dòng)、低功耗運(yùn)行特性,運(yùn)行時(shí)振動(dòng)幅度小于 0.1mm,功耗 15W,不會(huì)影響實(shí)驗(yàn)室精密儀器(如天平、色譜儀)的正常工作。在化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室,空氣中的微粒可能影響樣品純度,系統(tǒng)可通過 FFU 聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)維持潔凈度,同時(shí)分析 FFU 運(yùn)行參數(shù)與檢測(cè)結(jié)果的關(guān)聯(lián);在生物安全實(shí)驗(yàn)室,系統(tǒng)可記錄 FFU 聯(lián)動(dòng)過程中的潔凈度變化,為實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析提供環(huán)境數(shù)據(jù)支撐。適用場(chǎng)景包括高校科研實(shí)驗(yàn)室、企業(yè)研發(fā)中心、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室等,系統(tǒng)支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出與專業(yè)分析軟件對(duì)接,可將聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù)與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián),幫助科研人員優(yōu)化實(shí)驗(yàn)環(huán)境,同時(shí)具備權(quán)限分級(jí)管理功能,可設(shè)置實(shí)驗(yàn)人員、管理員等不同角色,保護(hù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)安全,支持長(zhǎng)期數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與追溯,滿足科研項(xiàng)目的合規(guī)要求。?中源綠凈為 45 + 體外診斷試劑車間建模塊化潔凈室,試劑批間差縮小 15%,質(zhì)量更均一!十級(jí)潔凈室在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
中源綠凈模塊化潔凈室,維護(hù)成本比傳統(tǒng)低 40%,已服務(wù) 60 + 企業(yè),年均節(jié)省費(fèi)用超 20 萬!十級(jí)潔凈室在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
中源綠凈的潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),適用場(chǎng)景包括對(duì)微生物污染敏感的行業(yè),如制藥無菌車間、醫(yī)療手術(shù)室 / ICU、食品無菌灌裝車間、生物安全實(shí)驗(yàn)室。在制藥無菌車間,微生物專項(xiàng)監(jiān)測(cè)滿足 GMP 對(duì)無菌生產(chǎn)的要求;在醫(yī)院手術(shù)室,實(shí)時(shí)微生物監(jiān)測(cè)降低手術(shù)風(fēng)險(xiǎn);在食品無菌灌裝車間,監(jiān)測(cè)確保食品不被微生物污染,延長(zhǎng)保質(zhì)期;在生物安全實(shí)驗(yàn)室,監(jiān)測(cè)防止微生物泄漏或交叉污染。微生物專項(xiàng)監(jiān)測(cè)優(yōu)化讓系統(tǒng)成為微生物防控的工具,為用戶提供、及時(shí)的微生物管控方案。十級(jí)潔凈室在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)