江蘇三責新材料科技股份有限公司2025-11-22

碳化硅材料在半導體制造中用作光刻機吸盤和環狀吸盤，具有諸多優勢。碳化硅的強度和高硬度使得其具有出色的抗壓性能，能夠承受高精度操作中產生的應力。此外，碳化硅的低熱膨脹系數使其在高溫工藝中維持較高的穩定性，避免因溫差引起的變形，確保了吸盤在長期使用中的高精度。它的高導熱性幫助在快速加熱和冷卻過程中保持良好的溫控性能，同時具有良好的抗氧化性和抗磨損性，使其在高溫、化學腐蝕的環境下更加耐用。三責新材的碳化硅材料在光刻機吸盤等半導體設備中的應用，為客戶提供了極高的精度和穩定性，廣泛應用于半導體制造領域。

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