江蘇三責新材料科技股份有限公司2025-11-07
碳化硅純度判斷有專業檢測和簡易判斷兩類方法,不同應用對純度要求不同。專業檢測方法:化學分析法——通過ICP-MS測定各種雜質元素含量,可精確到ppm級,高純碳化硅純度可達99.9999%,雜質含量低至1ppm級別;XRF快速測定主要元素含量;碳硫分析儀測定游離碳和SiC含量,碳化硅含量大于99%為合格。簡易判斷方法:觀察外觀——高純碳化硅呈均勻的黑色或深灰色,表面光滑細膩;酸洗測試——高純碳化硅在HF或HNO3中浸泡后表面無變化、無氣泡產生,表面蝕刻率極低;密度測試——無壓燒結碳化硅密度應大于3.10g/cm3,反應燒結碳化硅大于3.03g/cm3,密度低可能說明氣孔多或雜質多。應用要求:常規應用SiC含量>99%即可;半導體、光伏等應用需基材純度99.97%以上,表面CVD涂層純度99.9999%。江蘇三責新材料科技股份有限公司的產品都配有材質證明和純度檢測報告,高純碳化硅部件符合半導體行業標準。如需第三方檢測報告或樣品檢測服務,可通過質量部門申請。
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