江蘇三責新材料科技股份有限公司2025-11-04

碳化硅吸盤真空度衰減通常是密封問題或表面污染導致，可以通過系統檢查來定位和解決。真空衰減原因排查：表面污染——碳化硅吸盤表面沉積顆粒、氧化物或有機污染物，堵塞吸孔或影響密封，解決方法是清洗吸盤表面；密封圈老化——橡膠或陶瓷密封圈老化、變形、開裂，更換密封圈即可；吸孔堵塞——檢查吸孔是否被顆粒堵塞，可用高壓氣體反吹或超聲清洗；真空系統泄漏——檢查真空管路連接處、閥門是否泄漏，與吸盤本身無關；吸盤表面磨損——長期使用后碳化硅吸盤表面平面度下降，雖然碳化硅硬度超過2000GPa耐磨性極好，但精密吸附應用中微米級磨損也會影響真空度，可進行表面研磨修復。碳化硅吸盤具有高硬度、高彈性模量、高導熱系數、低熱膨脹系數以及良好的比剛度和光學加工性能，結合多種焊接技術和CVD涂層技術制作。江蘇三責新材料科技股份有限公司專門制作光刻機用碳化硅凸點吸盤和環狀吸盤、晶圓檢測用碳化硅凸點吸盤、鍵合用壓板和吸盤等高精密陶瓷部件。如需吸盤維護保養手冊或返廠檢修服務，可聯系售后技術支持。

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