國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低 30%，熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達 ±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環，在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。密封式設計可選，防潮防塵耐腐蝕，適用復雜環境。中國香港加熱盤非標定制

針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求，國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構，導熱墊層硬度 Shore A 30，可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸，確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃，控溫精度 ±0.8℃，支持階梯式升溫（每階段升溫 5℃-10℃，保溫 10-30 分鐘），緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統，避免加熱過程中晶圓表面氧化，且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm，無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作，使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上，提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。天津半導體加熱盤廠家熱解決方案伙伴，深入探討共同優化工藝熱管理環節。

國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤。配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短 10 個工作日，且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求。

針對等離子體刻蝕環境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍寶石覆層與氮化鋁基底的復合結構，表面硬度達莫氏 9 級，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落。加熱盤內部嵌入鉬制加熱絲，經后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至 500℃，控溫精度 ±1℃。底部設計環形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調節系統，快速響應刻蝕過程中的溫度波動。設備采用全密封結構，電氣強度達 2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環境中絕緣性能穩定，適配中微半導體刻蝕機等主流設備，為圖形轉移工藝提供可靠溫控。無錫國瑞熱控科技，專注加熱盤研發制造，是您值得信賴的合作伙伴。

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件。設備溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達 25℃/ 分鐘和 20℃/ 分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化。加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達 ±0.5℃。配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求。設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境。持續改進服務理念，聽取客戶反饋，不斷提升產品性能。浙江涂膠顯影加熱盤定制

精選耐高溫材料，絕緣性能優異，確保使用安全萬無一失。中國香港加熱盤非標定制

國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術壁壘，實現復雜結構產品量產能力。采用不銹鋼精密加工一體化成型，通過五軸聯動機床制造螺紋斜孔等復雜結構，加熱面粗糙度 Ra 小于 0.1μm。內置螺旋狀不銹鋼加熱元件，經真空焊接工藝與基體緊密結合，熱效率達 90%，升溫速率 25℃/ 分鐘，工作溫度范圍室溫至 500℃。設備具備 1000 小時無故障運行能力，通過國內主流客戶認證，可直接替換進口同類產品，在勻氣盤集成等場景中表現優異，助力半導體設備精密零部件國產化。中國香港加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在江蘇省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！