面向半導體熱壓鍵合工藝，國瑞熱控**加熱盤以溫度與壓力協同控制提升鍵合質量。采用陶瓷加熱芯與銅合金散熱基體復合結構，加熱面平面度誤差小于 0.005mm，確保鍵合區域壓力均勻傳遞。溫度調節范圍室溫至 400℃，升溫速率達 40℃/ 秒，可快速達到鍵合溫度并保持穩定（溫度波動 ±0.5℃），適配金 - 金、銅 - 銅等不同金屬鍵合工藝。配備壓力傳感器與位移監測模塊，實時反饋鍵合過程中的壓力變化與芯片位移，通過閉環控制實現壓力（0.1-10MPa）與溫度的精細匹配。與 ASM 太平洋鍵合設備適配，使鍵合界面電阻降低至 5mΩ 以下，為高可靠性芯片互聯提供保障。多種規格靈活定制，國瑞加熱盤滿足您的特殊應用需求。普陀區半導體晶圓加熱盤非標定制

針對碳化硅襯底生長的高溫需求，國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術，**溫度梯度可控性差的行業難題。加熱盤主體選用耐高溫石墨基材，表面噴涂碳化硅涂層，在 2200℃高溫下仍保持結構穩定，熱導率達 180W/mK，適配 PVT 法、TSSG 法等主流生長工藝。內部劃分 12 個**溫控區域，每個區域控溫精度達 ±2℃，通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率，助力 8 英寸碳化硅襯底量產。設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構，在 10??Pa 真空環境下無雜質釋放，與晶升股份等設備廠商聯合調試適配，使襯底生產成本較進口方案降低 30% 以上，為新能源汽車、5G 通信等領域提供**材料支撐。普陀區半導體晶圓加熱盤非標定制升溫迅速表面溫差小，過熱保護安全耐用，為設備護航。

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統，為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持。系統采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監測與報警功能，確保系統運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環，為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障。

針對半導體制造中的高真空工藝需求，國瑞熱控開發**真空密封組件，確保加熱盤在真空環境下穩定運行。組件采用氟橡膠與金屬骨架復合結構，耐溫范圍覆蓋 - 50℃至 200℃，可長期在 10??Pa 真空環境下使用無泄漏。密封件與加熱盤接口精細匹配，通過多道密封設計提升真空密封性，避免反應腔體內真空度下降影響工藝質量。組件安裝過程簡單，無需特殊工具，且具備良好的耐磨性與抗老化性能，使用壽命超 5000 次拆裝循環。適配 CVD、PVD 等真空工藝用加熱盤，與國產真空設備廠商的反應腔體兼容，為半導體制造中的高真空環境提供可靠密封保障，助力提升工藝穩定性與產品良率。結構緊湊安裝便捷，集成多重安全保護機制，使用放心無后顧之憂。

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件，實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線，支持多臺加熱盤同時監控，方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能，可自動記錄加熱過程中的溫度參數，存儲時間長達 1 年，便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能，當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時，自動發出聲光報警并記錄異常信息，提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統，通過以太網與加熱盤控制系統連接，安裝調試便捷，適配國瑞全系列半導體加熱盤，為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。表面特殊處理工藝，耐腐蝕易清潔，適用于各種復雜工作環境。常州晶圓鍵合加熱盤

工業級耐用加熱盤，耐腐蝕抗沖擊，適應嚴苛工況環境。普陀區半導體晶圓加熱盤非標定制

為降低半導體加熱盤的熱量損耗，國瑞熱控研發**隔熱組件，通過多層復合結構設計實現高效保溫！組件內層采用耐高溫隔熱棉，熱導率*0.03W/(m?K)，可有效阻隔加熱盤向設備腔體的熱量傳遞；外層選用金屬防護殼，兼具結構強度與抗腐蝕性能，適配半導體潔凈車間環境！隔熱組件與加熱盤精細貼合，安裝拆卸便捷，不影響加熱盤的正常維護與更換！通過隔熱組件應用，可使加熱盤熱量利用率提升15%以上，降低設備整體能耗，同時減少設備腔體溫升，延長周邊部件使用壽命！適配國瑞全系列半導體加熱盤，且可根據客戶現有加熱盤尺寸定制，為半導體生產線的能耗優化提供實用解決方案！普陀區半導體晶圓加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，**協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來無錫市國瑞熱控科技供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！