國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案！產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在10??Pa高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面！加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低30%，熱效率***提升！通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景！設備可耐受反復升溫降溫循環，在-50℃至500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障！工業級耐用加熱盤，耐腐蝕抗沖擊，適應嚴苛工況，保障生產連續性。江蘇探針測試加熱盤

針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求，國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定！采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構，導熱墊層硬度ShoreA30，可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸，確保熱量均勻傳遞！溫度調節范圍30℃-150℃，控溫精度±0.8℃，支持階梯式升溫（每階段升溫5℃-10℃，保溫10-30分鐘），緩慢釋放晶圓內部機械應力！配備氮氣保護系統，避免加熱過程中晶圓表面氧化，且加熱盤表面粗糙度Ra小于0.05μm，無顆粒劃傷晶圓風險！與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作，使研磨后晶圓翹曲度降低20%以上，提升后續光刻、刻蝕工藝的良率！嘉定區涂膠顯影加熱盤供應商多重安全保護設計，漏電過載超溫防護，構建安全工作環境。

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器！模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達±0.05℃，可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求！配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過USB導出形成校準報告！校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至30分鐘以內！適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容Kyocera、CoorsTek等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性！

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構，表面粗糙度Ra小于0.1μm，減少光刻膠涂布缺陷！加熱面劃分6個**溫控區域，通過仿真優化的加熱元件布局，使溫度均勻性達±0.5℃，避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均！溫度調節范圍覆蓋60℃至150℃，升溫速率10℃/分鐘，搭配無接觸紅外測溫系統，實時監測晶圓表面溫度并動態調節！設備兼容6英寸至12英寸光刻機配套需求，與ASML、尼康等設備的制程參數匹配，為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境！設計生產精益求精，溫度一致性優，動態響應能力出色。

電控晶圓加熱盤：半導體工藝的準確溫控重點。無錫國瑞熱控的電控晶圓加熱盤，以創新結構設計解釋半導體制造的溫控難題。其底盤內置螺旋狀發熱電纜與均溫膜，通過熱量傳導路徑優化，使加熱面均溫性達到行業高標準，確保晶圓表面溫度分布均勻，為光刻膠涂布等關鍵工藝提供穩定環境。搭配高精度溫度傳感器與限溫開關，溫度波動可控制在極小范圍，適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓需求。設備采用卡接組件連接上盤與底盤，通過轉盤驅動齒輪結構實現快速拆裝，大幅降低檢修維護的停機時間，完美契合半導體量產線的高效運維需求。升溫迅速表面溫差小，配備過熱保護功能，確保使用安全，為設備護航。寶山區陶瓷加熱盤廠家

客戶需求為導向，快速響應詢價定制，具有競爭力價格交期。江蘇探針測試加熱盤

針對原子層沉積工藝對溫度的嚴苛要求，國瑞熱控ALD**加熱盤采用多分區溫控設計，通過仿真優化加熱絲布局，確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標準！設備溫度調節范圍覆蓋室溫至600℃，升溫速率可達25℃/分鐘，搭配鉑電阻傳感器實現±0.1℃的控溫精度，滿足ALD工藝中前驅體吸附與反應的溫度窗口需求！采用氮化鋁陶瓷基底與密封結構，在真空環境下無揮發性物質釋放，且能抵御反應腔體內腐蝕性氣體侵蝕！適配8英寸至12英寸晶圓規格，通過標準化接口與拓荊、中微等廠商的ALD設備無縫兼容，為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障！江蘇探針測試加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！