國(guó)瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級(jí)溫控精度支撐光刻工藝，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復(fù)合結(jié)構(gòu)，表面粗糙度Ra小于0.1μm，減少光刻膠涂布缺陷！加熱面劃分6個(gè)**溫控區(qū)域，通過仿真優(yōu)化的加熱元件布局，使溫度均勻性達(dá)±0.5℃，避免烘烤過程中因溫度差異導(dǎo)致的光刻膠膜厚不均！溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋60℃至150℃，升溫速率10℃/分鐘，搭配無接觸紅外測(cè)溫系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓表面溫度并動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)！設(shè)備兼容6英寸至12英寸光刻機(jī)配套需求，與ASML、尼康等設(shè)備的制程參數(shù)匹配，為光刻膠的軟烘、堅(jiān)膜等關(guān)鍵步驟提供穩(wěn)定溫控環(huán)境！專業(yè)售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，快速響應(yīng)及時(shí)處理，保障您的生產(chǎn)不間斷。崇明區(qū)晶圓加熱盤定制

國(guó)瑞熱控推出半導(dǎo)體加熱盤專項(xiàng)維修服務(wù)，針對(duì)加熱元件老化、溫度均勻性下降等常見問題提供系統(tǒng)解決方案。服務(wù)流程涵蓋外觀檢測(cè)、絕緣性能測(cè)試、溫度場(chǎng)掃描等 12 項(xiàng)檢測(cè)項(xiàng)目，精細(xì)定位故障點(diǎn)。采用原廠匹配的氮化鋁陶瓷基材與加熱元件，維修后的加熱盤溫度均勻性恢復(fù)至 ±1℃以內(nèi)，使用壽命延長(zhǎng)至新設(shè)備的 80% 以上。配備專業(yè)維修團(tuán)隊(duì)，可提供上門服務(wù)與設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，單臺(tái)維修周期控制在 7 個(gè)工作日以內(nèi)，大幅縮短生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間。建立維修檔案與質(zhì)保體系，維修后提供 6 個(gè)月質(zhì)量保障，為企業(yè)降低設(shè)備更新成本，提升資產(chǎn)利用率。無錫晶圓加熱盤大小功率齊全覆蓋廣，靈活匹配實(shí)驗(yàn)裝置與工業(yè)設(shè)備需求。

針對(duì)半導(dǎo)體載板制造中的溫控需求，國(guó)瑞熱控**加熱盤以高穩(wěn)定性適配載板鉆孔、電鍍等工藝！采用不銹鋼基材經(jīng)硬化處理，表面硬度達(dá)HRC50以上，耐受載板加工過程中的機(jī)械沖擊無變形！加熱元件采用蛇形分布設(shè)計(jì)，加熱面溫度均勻性達(dá)±1℃，溫度調(diào)節(jié)范圍40℃-180℃，適配載板預(yù)加熱、樹脂固化等環(huán)節(jié)！配備真空吸附系統(tǒng)，可牢固固定不同尺寸載板（50mm×50mm至300mm×300mm），避免加工過程中位移導(dǎo)致的精度偏差！與深南電路、興森快捷等載板廠商合作，支持BT樹脂、玻璃纖維等不同材質(zhì)載板加工，為Chiplet封裝、扇出型封裝提供高質(zhì)量載板保障！

面向先進(jìn)封裝 Chiplet 技術(shù)需求，國(guó)瑞熱控**加熱盤以高精度溫控支撐芯片互聯(lián)工藝。采用鋁合金與陶瓷復(fù)合基材，加熱面平面度誤差小于 0.02mm，確保多芯片堆疊時(shí)受熱均勻。內(nèi)部采用微米級(jí)加熱絲布線，實(shí)現(xiàn) 1mm×1mm 精細(xì)溫控分區(qū)，溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至 300℃，控溫精度 ±0.3℃，適配混合鍵合、倒裝焊等工藝環(huán)節(jié)。配備壓力與溫度協(xié)同控制系統(tǒng)，在鍵合過程中同步調(diào)節(jié)溫度與壓力參數(shù)，減少界面缺陷。與長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)適配，支持 2.5D/3D 封裝架構(gòu)，為 AI 服務(wù)器等高算力場(chǎng)景提供高密度集成解決方案。專業(yè)團(tuán)隊(duì)技術(shù)支持，從選型到安裝全程指導(dǎo)，解決您的后顧之憂。

借鑒晶圓鍵合工藝的技術(shù)需求，國(guó)瑞熱控鍵合**加熱盤創(chuàng)新采用真空吸附與彈簧壓塊復(fù)合結(jié)構(gòu)，通過彈簧壓力限制加熱平臺(tái)受熱膨脹，高溫下表面平整度誤差控制在0.02mm以內(nèi)！加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復(fù)合基材，兼具低熱膨脹系數(shù)與高導(dǎo)熱性，溫度均勻性達(dá)±1.5℃，適配室溫至450℃的鍵合溫度需求！底部設(shè)計(jì)雙層隔熱結(jié)構(gòu)，***層阻隔熱量向下傳導(dǎo)，第二層快速散熱避免設(shè)備腔體溫升過高！配備精細(xì)壓力控制模塊，可根據(jù)鍵合類型調(diào)整吸附力，在硅-硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密，提升鍵合良率！嚴(yán)格老化測(cè)試檢驗(yàn)，確保產(chǎn)品零缺陷，品質(zhì)保證。松江區(qū)半導(dǎo)體加熱盤供應(yīng)商

獨(dú)特加熱元件絕緣設(shè)計(jì)，熱效率大幅提升，節(jié)能環(huán)保穩(wěn)定安全。崇明區(qū)晶圓加熱盤定制

國(guó)瑞熱控12英寸半導(dǎo)體加熱盤專為先進(jìn)制程量產(chǎn)需求設(shè)計(jì)，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復(fù)合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在0.015mm以內(nèi)，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求！內(nèi)部采用分區(qū)式加熱元件布局，劃分8個(gè)**溫控區(qū)域，配合高精度鉑電阻傳感器，實(shí)現(xiàn)±0.8℃的控溫精度，滿足7nm至14nm制程對(duì)溫度均勻性的嚴(yán)苛要求！設(shè)備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應(yīng)腔結(jié)構(gòu)，升溫速率達(dá)20℃/分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至600℃，可兼容PVD、CVD、刻蝕等多道關(guān)鍵工藝！通過與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)的深度合作，已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn)12英寸晶圓生產(chǎn)線的無縫對(duì)接，為先進(jìn)制程規(guī)模化生產(chǎn)提供穩(wěn)定溫控支撐！崇明區(qū)晶圓加熱盤定制

無錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn)，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià)，這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力，也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳３謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)！