面向半導(dǎo)體新材料研發(fā)場(chǎng)景,國(guó)瑞熱控高溫加熱盤(pán)以寬溫域與高穩(wěn)定性成為科研工具!采用石墨與碳化硅復(fù)合基材,工作溫度范圍覆蓋500℃-2000℃,可通過(guò)程序設(shè)定實(shí)現(xiàn)階梯式升溫,升溫速率調(diào)節(jié)范圍0.1-10℃/分鐘!加熱面配備24組測(cè)溫點(diǎn),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度分布,數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá)10Hz,支持與實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)系統(tǒng)對(duì)接!設(shè)備體積緊湊(直徑30cm),重量*5kg,配備小型真空腔體與惰性氣體接口,適配薄膜沉積、晶體生長(zhǎng)等多種實(shí)驗(yàn)需求,已服務(wù)于中科院半導(dǎo)體所等科研機(jī)構(gòu)!熱響應(yīng)速度快,快速達(dá)溫穩(wěn)定,減少等待提升效率。普陀區(qū)涂膠顯影加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家

國(guó)瑞熱控半導(dǎo)體測(cè)試用加熱盤(pán),專為芯片性能測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度環(huán)境模擬設(shè)計(jì),可精細(xì)復(fù)現(xiàn)芯片工作時(shí)的溫度條件!設(shè)備溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋-40℃至150℃,支持快速升溫和降溫,速率分別達(dá)25℃/分鐘和20℃/分鐘,能模擬不同工況下的溫度變化!加熱盤(pán)表面采用柔性導(dǎo)熱墊層,適配不同厚度的測(cè)試芯片,確保熱量均勻傳遞至芯片表面,溫度控制精度達(dá)±0.5℃!配備可編程溫度控制系統(tǒng),可預(yù)設(shè)多段溫度曲線,滿足長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性測(cè)試需求!設(shè)備運(yùn)行時(shí)無(wú)電磁場(chǎng)干擾,避免對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)產(chǎn)生影響,同時(shí)具備過(guò)溫、過(guò)流雙重保護(hù)功能,為半導(dǎo)體芯片的性能驗(yàn)證與質(zhì)量檢測(cè)提供專業(yè)溫度環(huán)境!虹口區(qū)晶圓鍵合加熱盤(pán)非標(biāo)定制表面硬度強(qiáng)化處理,耐磨耐刮擦,保持長(zhǎng)期美觀實(shí)用。

借鑒空間站“雙波長(zhǎng)激光加熱”原理,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤(pán),適配極端高溫材料制備!采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受3000℃以上局部高溫,配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱,實(shí)現(xiàn)“表面強(qiáng)攻+內(nèi)部滲透”的加熱效果!加熱區(qū)域直徑可在10mm-200mm間調(diào)節(jié),溫度響應(yīng)時(shí)間小于1秒,控溫精度±1℃,支持脈沖式加熱模式!設(shè)備配備紅外測(cè)溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用,為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具!
國(guó)瑞熱控高真空半導(dǎo)體加熱盤(pán),專為半導(dǎo)體精密制造的真空環(huán)境設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)無(wú)污染加熱解決方案!產(chǎn)品采用特殊密封結(jié)構(gòu)與高純材質(zhì)制造,所有部件均經(jīng)過(guò)真空除氣處理,在10??Pa高真空環(huán)境下無(wú)揮發(fā)性物質(zhì)釋放,避免污染晶圓表面!加熱元件采用嵌入式設(shè)計(jì),與基材緊密結(jié)合,熱量傳遞損耗降低30%,熱效率***提升!通過(guò)內(nèi)部溫度場(chǎng)模擬優(yōu)化,加熱面均溫性達(dá)±1℃,適配光學(xué)器件鍍膜、半導(dǎo)體晶圓加工等潔凈度要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景!設(shè)備可耐受反復(fù)升溫降溫循環(huán),在-50℃至500℃溫度區(qū)間內(nèi)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,為高真空環(huán)境下的精密制造提供符合潔凈標(biāo)準(zhǔn)的溫控保障!多重安全保護(hù)設(shè)計(jì),漏電過(guò)載超溫防護(hù),安全可靠。

針對(duì)晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國(guó)瑞熱控**加熱盤(pán)以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部過(guò)熱導(dǎo)致的晶圓翹曲!溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋50℃至150℃,支持階梯式升溫程序,適配不同清洗液的烘干需求!設(shè)備整體采用無(wú)死角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),清潔時(shí)*需用高純酒精擦拭即可,符合半導(dǎo)體制造的高潔凈標(biāo)準(zhǔn),為清洗后晶圓的干燥質(zhì)量與后續(xù)工藝銜接提供保障!密封式設(shè)計(jì)防潮防塵耐腐蝕,適用于復(fù)雜環(huán)境特殊氣氛。松江區(qū)探針測(cè)試加熱盤(pán)供應(yīng)商
遠(yuǎn)程監(jiān)控功能可選,實(shí)時(shí)掌握設(shè)備狀態(tài),智能便捷管理。普陀區(qū)涂膠顯影加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家
針對(duì)半導(dǎo)體退火工藝中對(duì)溫度穩(wěn)定性的高要求,國(guó)瑞熱控退火**加熱盤(pán)采用紅外加熱與電阻加熱協(xié)同技術(shù),實(shí)現(xiàn)均勻且快速的溫度傳遞!加熱盤(pán)主體選用低熱慣性的氮化硅陶瓷材質(zhì),熱導(dǎo)率達(dá)30W/mK,可在30秒內(nèi)將晶圓溫度提升至900℃,且降溫過(guò)程平穩(wěn)可控,避免因溫度驟變導(dǎo)致的晶圓晶格損傷!表面噴涂耐高溫抗氧化涂層,在長(zhǎng)期高溫退火環(huán)境下無(wú)物質(zhì)揮發(fā),符合半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)!配備多組溫度監(jiān)測(cè)點(diǎn),實(shí)時(shí)反饋晶圓不同區(qū)域溫度數(shù)據(jù),通過(guò)PID閉環(huán)控制系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整加熱功率,確保溫度波動(dòng)小于±1℃!適配離子注入后的退火、金屬硅化物形成等工藝環(huán)節(jié),與應(yīng)用材料、東京電子等主流退火設(shè)備兼容,為半導(dǎo)體器件性能優(yōu)化提供關(guān)鍵溫控保障!普陀區(qū)涂膠顯影加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家
無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開(kāi)創(chuàng)新天地,繪畫(huà)新藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念,市場(chǎng)是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開(kāi)創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來(lái)無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái),即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī),也不足以驕傲,過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢(mèng)想!