針對(duì)晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國(guó)瑞熱控**加熱盤(pán)以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部過(guò)熱導(dǎo)致的晶圓翹曲!溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋50℃至150℃,支持階梯式升溫程序,適配不同清洗液的烘干需求!設(shè)備整體采用無(wú)死角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),清潔時(shí)*需用高純酒精擦拭即可,符合半導(dǎo)體制造的高潔凈標(biāo)準(zhǔn),為清洗后晶圓的干燥質(zhì)量與后續(xù)工藝銜接提供保障!精益求精每個(gè)環(huán)節(jié),溫度一致響應(yīng)快,性能優(yōu)異。徐匯區(qū)探針測(cè)試加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家

借鑒空間站“雙波長(zhǎng)激光加熱”原理,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤(pán),適配極端高溫材料制備!采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受3000℃以上局部高溫,配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱,實(shí)現(xiàn)“表面強(qiáng)攻+內(nèi)部滲透”的加熱效果!加熱區(qū)域直徑可在10mm-200mm間調(diào)節(jié),溫度響應(yīng)時(shí)間小于1秒,控溫精度±1℃,支持脈沖式加熱模式!設(shè)備配備紅外測(cè)溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用,為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具!南通半導(dǎo)體晶圓加熱盤(pán)工業(yè)級(jí)耐用加熱盤(pán),耐腐蝕抗沖擊,適應(yīng)嚴(yán)苛工況環(huán)境。

國(guó)瑞熱控推出加熱盤(pán)節(jié)能改造方案,針對(duì)存量設(shè)備能耗高問(wèn)題提供系統(tǒng)升級(jí)!采用石墨烯導(dǎo)熱涂層技術(shù)提升熱傳導(dǎo)效率,配合智能溫控算法優(yōu)化加熱功率輸出,使單臺(tái)設(shè)備能耗降低20%以上!改造內(nèi)容包括加熱元件更換、隔熱層升級(jí)與控制系統(tǒng)迭代,保留原有設(shè)備主體結(jié)構(gòu),改造成本*為新設(shè)備的40%!升級(jí)后的加熱盤(pán)溫度響應(yīng)速度提升30%,溫度波動(dòng)控制在±1℃以內(nèi),符合半導(dǎo)體行業(yè)節(jié)能標(biāo)準(zhǔn)!已為華虹半導(dǎo)體等企業(yè)完成200余臺(tái)設(shè)備改造,年節(jié)約電費(fèi)超百萬(wàn)元,助力半導(dǎo)體工廠實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)轉(zhuǎn)型!
為解決加熱盤(pán)長(zhǎng)期使用后的溫度漂移問(wèn)題,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)**校準(zhǔn)模塊,成為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的精度保障利器!模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設(shè)計(jì),測(cè)溫精度達(dá)±0.05℃,可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍,適配不同材質(zhì)加熱盤(pán)的校準(zhǔn)需求!配備便攜式數(shù)據(jù)采集終端,支持實(shí)時(shí)顯示溫度分布曲線與偏差分析,數(shù)據(jù)可通過(guò)USB導(dǎo)出形成校準(zhǔn)報(bào)告!校準(zhǔn)過(guò)程無(wú)需拆卸加熱盤(pán),通過(guò)磁吸式貼合加熱面即可完成檢測(cè),單臺(tái)設(shè)備校準(zhǔn)時(shí)間縮短至30分鐘以內(nèi)!適配國(guó)瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤(pán),同時(shí)兼容Kyocera、CoorsTek等國(guó)際品牌產(chǎn)品,幫助企業(yè)建立完善的溫度校準(zhǔn)體系,確保工藝參數(shù)的一致性與可追溯性!專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)技術(shù)支持,從選型到安裝全程指導(dǎo),解決您的后顧之憂。

面向柔性半導(dǎo)體基板(如聚酰亞胺基板)加工需求,國(guó)瑞熱控**加熱盤(pán)以柔性貼合設(shè)計(jì)適配彎曲基板!采用薄型不銹鋼加熱片(厚度0.2mm)與硅膠導(dǎo)熱層復(fù)合結(jié)構(gòu),可隨柔性基板彎曲(彎曲半徑**小5mm)而無(wú)結(jié)構(gòu)損壞,加熱面溫度均勻性達(dá)±1.5℃,溫度調(diào)節(jié)范圍50℃-250℃,適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝!配備真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加熱過(guò)程中褶皺導(dǎo)致的工藝缺陷!與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作,支持柔性O(shè)LED驅(qū)動(dòng)芯片的制程加工,為柔性電子設(shè)備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障!熱響應(yīng)速度快,快速達(dá)溫穩(wěn)定,減少等待時(shí)間提升效率。湖南晶圓加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家
多重安全保護(hù)機(jī)制,過(guò)溫過(guò)載自動(dòng)防護(hù),讓您使用更安心放心。徐匯區(qū)探針測(cè)試加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家
國(guó)瑞熱控刻蝕工藝加熱盤(pán),專(zhuān)為半導(dǎo)體刻蝕環(huán)節(jié)的精細(xì)溫控設(shè)計(jì),有效解決刻蝕速率不均與圖形失真問(wèn)題!產(chǎn)品采用藍(lán)寶石覆層與鋁合金基體復(fù)合結(jié)構(gòu),表面經(jīng)拋光處理至鏡面效果,減少刻蝕副產(chǎn)物粘附,且耐受等離子體轟擊無(wú)損傷!加熱盤(pán)與靜電卡盤(pán)協(xié)同適配,通過(guò)底部導(dǎo)熱紋路優(yōu)化,使熱量快速傳導(dǎo)至晶圓背面,溫度響應(yīng)時(shí)間縮短至10秒以內(nèi)!支持溫度階梯式調(diào)節(jié)功能,可根據(jù)刻蝕深度需求設(shè)定多段溫度曲線,適配硅刻蝕、金屬刻蝕等不同工藝場(chǎng)景!設(shè)備整體符合半導(dǎo)體潔凈車(chē)間Class1標(biāo)準(zhǔn),拆卸維護(hù)無(wú)需特殊工具,大幅降低生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間!徐匯區(qū)探針測(cè)試加熱盤(pán)生產(chǎn)廠家
無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái),創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)!