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中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F4...

中源綠凈在制藥配液潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，打造了藥液制備全流程參數(shù)監(jiān)控體系。針對無菌配液的 A 級潔凈區(qū)，采用每 1 平方米 1 個監(jiān)測點(diǎn)的超高密度部署，實(shí)時監(jiān)測懸浮粒子（0.5μm 和 5μm 雙粒徑同時監(jiān)測，采樣流量 50L/min）、微生物濃度（每 15 分鐘采樣一次）、環(huán)境溫濕度（溫度控制在 20~24℃，精度 ±0.5℃；濕度 45%~65% RH，精度 ±3%）及壓差（ 區(qū)與緩沖區(qū)間壓差≥20Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計數(shù)器 小檢測粒徑達(dá) 0.3μm，數(shù)據(jù)存儲容量可滿足 365 天全量數(shù)據(jù)回溯。通過與配液系統(tǒng)聯(lián)動，當(dāng)參數(shù)超標(biāo)時自動觸發(fā)配液暫停，使配液不合格率下降 65%。已在齊魯制藥、藥...

中源綠凈在精密光學(xué)鍍膜潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了微粒 - 氣體純度雙維度方案。應(yīng)用場景：光學(xué)鏡片鍍膜潔凈車間。針對 10 級鍍膜區(qū)，配置超高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%）、溫度（20~25℃，精度 ±0.3℃）及濕度（30%~40% RH）。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)檢測氣體純度，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率 10 次 / 秒。通過與鍍膜機(jī)聯(lián)動控制，當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時自動切斷氣源，使鏡片鍍膜透光率達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在舜宇光學(xué)、蔡司光學(xué)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 99.9...

中源綠凈為食品無菌灌裝潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了微生物與壓差的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：液態(tài)食品無菌灌裝車間。針對 C 級無菌灌裝區(qū)，部署防水型監(jiān)測終端，同步監(jiān)測沉降菌（每小時培養(yǎng) 1 次）、灌裝區(qū)與外界壓差（≥15Pa，精度 ±1Pa）、溫度（18~22℃，精度 ±0.5℃）及濕度（30%~40% RH）。采用膜過濾法微生物檢測技術(shù)，結(jié)果出具時間縮短至 3 小時，準(zhǔn)確率達(dá) 99%。通過與灌裝線聯(lián)動控制，當(dāng)微生物超標(biāo)時立即停止灌裝并啟動環(huán)境消毒，使產(chǎn)品無菌合格率提升至 99.98%。已在伊利、蒙牛等企業(yè)應(yīng)用，符合 GB 19304 無菌食品生產(chǎn)規(guī)范，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈在環(huán)境...

中源綠凈在鋰電池電芯潔凈車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 濕度 - 靜電多參數(shù)協(xié)同方案。針對鋰電池勻漿、涂布工序的 1000 級潔凈區(qū)，配置了防爆型監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.1μm 粉塵濃度（檢測下限 0.01mg/m3）、相對濕度（控制范圍 20%~30% RH，精度 ±2%）、靜電電位（量程 - 500~+500V，精度 ±10V）等參數(shù)。采用 β 射線吸收法測量粉塵濃度，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 10 秒 / 次，確保及時發(fā)現(xiàn)粉塵聚集風(fēng)險。通過靜電消除聯(lián)動控制，使電芯粉塵附著導(dǎo)致的不良率下降 50%。該系統(tǒng)已在寧德時代、比亞迪電池車間應(yīng)用，滿足 IEC 62133 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)...

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時自動優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測方案，已成功應(yīng)用于 30 + 行業(yè)，滿足不同場景需求，...

中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了微振動與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應(yīng)用場景：精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區(qū)，部署高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環(huán)境振動（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法，提前預(yù)警設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動超標(biāo)，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈為 4...

中源綠凈為光伏組件潔凈車間定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了粉塵與靜電的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：光伏組件層壓潔凈車間。針對 1000 級層壓潔凈區(qū)，部署耐溫型監(jiān)測終端，可耐受車間 50℃環(huán)境溫度，監(jiān)測參數(shù)包括 0.3μm 粉塵濃度（采樣流量 28.3L/min）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、層壓區(qū)溫度（130~150℃，精度 ±1℃）及濕度。采用非接觸式靜電傳感器和紅外測溫技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣間隔 3 秒 / 次，確保及時發(fā)現(xiàn)參數(shù)異常。通過靜電消除聯(lián)動控制，使組件隱裂率下降 35%，配合粉塵濃度調(diào)控，使組件轉(zhuǎn)換效率提升 2%。已在隆基綠能、晶科能源等企業(yè)應(yīng)用，滿足 IEC 61...

中源綠凈針對化妝品乳化潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微粒與微生物的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：化妝品膏體乳化潔凈車間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，在 C 級乳化區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每小時檢測 1 次）、乳化鍋周邊溫度（30~80℃，精度 ±0.5℃）及濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率 98.6%。通過與乳化系統(tǒng)聯(lián)動，當(dāng)微粒超標(biāo)時自動加強(qiáng)攪拌區(qū)凈化，使膏體雜質(zhì)檢出率下降 58%。已服務(wù)于珀萊雅、上海家化，助力通過化妝品 GMP 認(rèn)證，環(huán)境監(jiān)測合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備，幫...

中源綠凈在生物疫苗凍干潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了溫濕度 - 真空度 - 微生物多參數(shù)聯(lián)動體系。應(yīng)用場景：疫苗凍干生產(chǎn)潔凈室。針對 A 級凍干 區(qū)，采用每 1 平方米 1 個監(jiān)測終端的超高密度布局，實(shí)時監(jiān)測凍干艙內(nèi)溫度（-50~30℃，精度 ±0.2℃）、真空度（0~100Pa，精度 ±1Pa）、浮游菌濃度（每 20 分鐘采樣 1 次，檢測下限 0.5CFU/m3）及相鄰區(qū)域壓差（≥30Pa）。系統(tǒng)搭載的低溫 傳感器在 - 80℃環(huán)境下仍保持穩(wěn)定性能，數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過與凍干機(jī)控制系統(tǒng)聯(lián)動，當(dāng)參數(shù)偏離工藝范圍時 5 秒內(nèi)觸發(fā)調(diào)節(jié)，使疫苗凍干合格率提升 35%。已在國藥中生、科興...

中源綠凈在食品無菌灌裝潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了微生物 - 氣壓雙閉環(huán)監(jiān)測體系。針對果汁、乳制品無菌灌裝的 C 級潔凈區(qū)，采用每 2.5 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局，實(shí)時監(jiān)測沉降菌（檢測頻率 1 次 / 小時）、浮游菌（采樣流量 100L/min）、相鄰區(qū)域壓差（控制梯度≥10Pa，精度 ±1Pa）等參數(shù)。系統(tǒng)搭載的生物傳感器采用熒光染色技術(shù)，微生物檢測響應(yīng)時間≤30 分鐘，較傳統(tǒng)培養(yǎng)法效率提升 90%。通過與灌裝設(shè)備聯(lián)動控制，當(dāng)微生物濃度超標(biāo)時自動觸發(fā)灌裝暫停，使產(chǎn)品微生物不合格率下降 55%。已在農(nóng)夫山泉、光明乳業(yè)等企業(yè)應(yīng)用，符合 GB 14881 食品生產(chǎn)衛(wèi)生規(guī)范，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)通過率 1...

中源綠凈為食品無菌加工無塵車間開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與壓差梯度的 管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝無塵車間。針對 C 級無菌加工區(qū)，部署每 2.5 平方米 1 個監(jiān)測點(diǎn)，同步采集浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次，檢測下限 1CFU/m3）、0.5μm 微粒濃度、加工區(qū)與外界壓差（≥15Pa，精度 ±1Pa）及溫濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.8%。系統(tǒng)與灌裝設(shè)備聯(lián)動，參數(shù)異常時立即觸發(fā)停機(jī)并啟動消毒程序，使食品微生物超標(biāo)率下降 62%。已在娃哈哈、統(tǒng)一企業(yè)等應(yīng)用，符合 GB 14881 食品生產(chǎn)通用衛(wèi)生規(guī)范，...

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F4...

中源綠凈為食品無菌加工無塵車間開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與壓差梯度的 管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝無塵車間。針對 C 級無菌加工區(qū)，部署每 2.5 平方米 1 個監(jiān)測點(diǎn)，同步采集浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次，檢測下限 1CFU/m3）、0.5μm 微粒濃度、加工區(qū)與外界壓差（≥15Pa，精度 ±1Pa）及溫濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.8%。系統(tǒng)與灌裝設(shè)備聯(lián)動，參數(shù)異常時立即觸發(fā)停機(jī)并啟動消毒程序，使食品微生物超標(biāo)率下降 62%。已在娃哈哈、統(tǒng)一企業(yè)等應(yīng)用，符合 GB 14881 食品生產(chǎn)通用衛(wèi)生規(guī)范，...

中源綠凈為食品凍干包裝潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了微生物與氣壓的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：凍干食品無菌包裝車間。針對 C 級包裝區(qū)，部署防塵監(jiān)測終端，同步監(jiān)測沉降菌（每小時培養(yǎng) 1 次）、包裝區(qū)與外界壓差（≥10Pa，精度 ±1Pa）、溫度（18~22℃，精度 ±0.5℃）及濕度（35%~45% RH）。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間從 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.5%。通過與包裝機(jī)聯(lián)動，當(dāng)微生物超標(biāo)時立即啟動紫外線消毒，使食品包裝后微生物超標(biāo)率下降 60%。已在良品鋪?zhàn)印⑷凰墒髴?yīng)用，符合 GB 23790 凍干食品標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 100%。中源綠凈...

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時自動優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈為 30 + 辦公樓提供環(huán)境監(jiān)測，營造舒適辦公環(huán)境，提高辦公效...

中源綠凈在光伏組件層壓無塵車間環(huán)境監(jiān)測中，推出了粉塵 - 溫度 - 濕度多維度方案。應(yīng)用場景：光伏組件層壓無塵車間。針對 1000 級層壓區(qū)，配置耐高溫監(jiān)測終端（可耐受 60℃環(huán)境），同步監(jiān)測 0.3μm 粉塵濃度（檢測下限 0.001mg/m3）、層壓溫度（130~150℃，精度 ±1℃）、相對濕度（30%~50% RH，精度 ±3%）及氣壓。采用 β 射線吸收法測塵技術(shù)，響應(yīng)時間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 5 秒 / 次。系統(tǒng)對接層壓機(jī)控制系統(tǒng)，溫濕度異常時自動調(diào)節(jié)，使光伏組件層壓氣泡不良率下降 38%。已在晶澳太陽能、天合光能等應(yīng)用，符合 IEC 61215 光伏組件標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率 9...

中源綠凈針對航空電子裝配潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微振動與靜電的 管控。應(yīng)用場景：航空機(jī)載電子設(shè)備裝配潔凈室。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求，在 100 級潔凈裝配區(qū)部署一體化監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、環(huán)境振動（頻率范圍 1~500Hz，測量精度 ±0.001mm/s）、靜電電壓（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）及氣流速度（0.2~0.3m/s）。采用壓電式振動傳感器和非接觸式靜電探頭，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，確保捕捉細(xì)微參數(shù)變化。通過振動源識別算法，可快速定位設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動超標(biāo)，配合靜電消除器聯(lián)動控制，使電子元件靜電損傷率下降 58%。已服務(wù)于...

中源綠凈在航空航天精密部件裝配潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，推出了微振動 - 潔凈度雙維度方案。應(yīng)用場景：航天發(fā)動機(jī)部件裝配潔凈室。針對 8 級潔凈裝配區(qū)，配置高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（檢測下限 1 粒 / 升）、環(huán)境振動（頻率范圍 1~1000Hz，測量精度 ±0.0005mm/s）、空氣流速（0.2~0.4m/s）及溫濕度。采用激光多普勒振動測量技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 2000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源識別與隔離方案，使部件裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 45%。系統(tǒng)對接 MES 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)全追溯，已在航天科技集團(tuán)、中國商飛應(yīng)用，符合 AS9100 航空質(zhì)量...

中源綠凈為精密軸承研磨潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了粉塵與振動的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：精密軸承研磨加工潔凈車間。針對 1000 級研磨區(qū)，部署耐粉塵監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 1μm 粉塵濃度（采樣流量 50L/min）、研磨設(shè)備振動（頻率 1~500Hz，精度 ±0.001mm/s）、溫度（20~28℃）及濕度。采用激光測振技術(shù)，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級振動。通過振動 - 粉塵關(guān)聯(lián)分析，提前預(yù)警研磨燒傷風(fēng)險，使軸承圓度精度（≤0.5μm）達(dá)標(biāo)率提升 40%。已在 SKF、NSK 應(yīng)用，符合 ISO 12100 標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.88%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備，幫 35 +...

中源綠凈為生物安全柜潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了氣流與微生物的 監(jiān)測。應(yīng)用場景：生物安全柜操作潔凈室。針對 P2 級生物安全實(shí)驗(yàn)室，部署 監(jiān)測終端，同步采集安全柜出風(fēng)口風(fēng)速（0.38±0.02m/s，精度 ±0.01m/s）、下沉氣流速度（0.25~0.3m/s）、浮游菌濃度（每小時采樣 1 次，檢測下限 1CFU/m3）及室內(nèi)壓差（≥10Pa）。采用熱球式風(fēng)速儀實(shí)現(xiàn)高精度氣流監(jiān)測，數(shù)據(jù)采樣頻率 10 次 / 秒，確保捕捉氣流波動。系統(tǒng)具備與安全柜聯(lián)動功能，當(dāng)氣流速度異常時立即聲光報警并自動關(guān)閉操作窗口，使微生物泄漏風(fēng)險下降 70%。已在中科院生物所、協(xié)和醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，符合 GB 5...

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對 100 級至 1000 級潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，可實(shí)時采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過閾值時自動聯(lián)動 FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14...

中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中，推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動方案。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對 10 級沉積區(qū)，部署超高精度監(jiān)測終端，同步檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、沉積氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔體壓差（≥20Pa）。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù)，氣體純度響應(yīng)時間≤1 秒，微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時自動切斷氣源，使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。中...

中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了微振動與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應(yīng)用場景：精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區(qū)，部署高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環(huán)境振動（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法，提前預(yù)警設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動超標(biāo)，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈為 3...

中源綠凈針對化妝品乳化潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微粒與微生物的協(xié)同管控。應(yīng)用場景：化妝品膏體乳化潔凈車間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，在 C 級乳化區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每小時檢測 1 次）、乳化鍋周邊溫度（30~80℃，精度 ±0.5℃）及濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率 98.6%。通過與乳化系統(tǒng)聯(lián)動，當(dāng)微粒超標(biāo)時自動加強(qiáng)攪拌區(qū)凈化，使膏體雜質(zhì)檢出率下降 58%。已服務(wù)于珀萊雅、上海家化，助力通過化妝品 GMP 認(rèn)證，環(huán)境監(jiān)測合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案，讓...

中源綠凈針對航空航天部件潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，強(qiáng)化了低濕度環(huán)境下的潔凈度管控。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求，在航天發(fā)動機(jī)部件裝配的 8 級潔凈區(qū)，部署了低濕度 監(jiān)測終端，可耐受 10%~30% RH 的低濕環(huán)境，監(jiān)測參數(shù)包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度（測量范圍 - 60~20℃，精度 ±0.5℃）、空氣潔凈度等級等。采用電解法濕度傳感器，在低濕環(huán)境下測量精度仍保持 ±2% RH，數(shù)據(jù)刷新周期為 30 秒 / 次。系統(tǒng)具備與除濕機(jī)組的聯(lián)動調(diào)節(jié)功能，濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)，使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務(wù)于中國商飛、航天科技集團(tuán)等 12 家企業(yè)，助力其部件通過航天級環(huán)...

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對 100 級至 1000 級潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，可實(shí)時采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過閾值時自動聯(lián)動 FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14...

中源綠凈針對化妝品膏體灌裝潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案，聚焦于微生物與空氣潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應(yīng)用場景：化妝品膏霜灌裝潔凈車間。依據(jù)《化妝品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》，在 C 級灌裝區(qū)部署監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每 1 小時檢測 1 次）、車間溫濕度（溫度 20~25℃，濕度 45%~65% RH）及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術(shù)，檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 2 小時，準(zhǔn)確率達(dá) 98.6%。通過微生物濃度趨勢分析，提前 4 小時預(yù)警污染風(fēng)險，配合灌裝設(shè)備消毒聯(lián)動，使產(chǎn)品微生物超標(biāo)率下降 58%。已服務(wù)于歐萊雅、資生堂等企業(yè)，助力其通過化妝品...

中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實(shí)時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部排風(fēng)，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。中源綠凈在環(huán)境...

中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了微振動與潔凈度的協(xié)同監(jiān)測。應(yīng)用場景：精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區(qū)，部署高精度監(jiān)測終端，同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環(huán)境振動（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法，提前預(yù)警設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動超標(biāo)，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達(dá)標(biāo)率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 10110 光學(xué)儀器標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。中源綠凈的環(huán)境...