中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監測中,構建了多粒徑微粒全流程管控體系。應用場景:電子元器件生產潔凈車間。針對 100 級至 1000 級潔凈環境,采用每 2 平方米 1 個監測終端的高密度部署,可實時采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達 50L/min,數據更新周期為 2 秒 / 次。系統搭載激光散射式粒子計數器, 小檢測粒徑達 0.1μm,檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,當微粒濃度超過閾值時自動聯動 FFU 風機過濾單元調節風速,使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業應用,符合 ISO 14...
中源綠凈在精密光學鍍膜潔凈室環境監測中,推出了微粒 - 氣體純度雙維度方案。應用場景:光學鏡片鍍膜潔凈車間。針對 10 級鍍膜區,配置超高精度監測終端,同步監測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、鍍膜氣體純度(99.999%~99.9999%)、溫度(20~25℃,精度 ±0.3℃)及濕度(30%~40% RH)。采用激光誘導擊穿光譜技術檢測氣體純度,響應時間≤1 秒,數據采樣頻率 10 次 / 秒。通過與鍍膜機聯動控制,當氣體純度不達標時自動切斷氣源,使鏡片鍍膜透光率達標率提升 42%。已在舜宇光學、蔡司光學應用,符合 ISO 10110 光學標準,環境管控達標率 99.9...
中源綠凈在半導體光刻潔凈室環境監測中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數協同體系。應用場景:半導體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區,采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署,實時監測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統搭載的激光粒子計數器 小分辨率達 0.1μm,可捕捉極細微顆粒變化。通過與空調系統聯動調節,當溫濕度偏離設定值時 10 秒內完成動態補償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電...
中源綠凈在半導體光刻潔凈室環境監測中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數協同體系。應用場景:半導體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區,采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署,實時監測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統搭載的激光粒子計數器 小分辨率達 0.1μm,可捕捉極細微顆粒變化。通過與空調系統聯動調節,當溫濕度偏離設定值時 10 秒內完成動態補償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電...
中源綠凈針對航空航天部件潔凈室的環境監測方案,強化了低濕度環境下的潔凈度管控。依據 AS9100 航空質量管理體系要求,在航天發動機部件裝配的 8 級潔凈區,部署了低濕度 監測終端,可耐受 10%~30% RH 的低濕環境,監測參數包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度(測量范圍 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空氣潔凈度等級等。采用電解法濕度傳感器,在低濕環境下測量精度仍保持 ±2% RH,數據刷新周期為 30 秒 / 次。系統具備與除濕機組的聯動調節功能,濕度波動控制在 ±3% 以內,使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務于中國商飛、航天科技集團等 12 家企業,助力其部件通過航天級環...
中源綠凈針對航空航天部件潔凈室的環境監測方案,強化了低濕度環境下的潔凈度管控。依據 AS9100 航空質量管理體系要求,在航天發動機部件裝配的 8 級潔凈區,部署了低濕度 監測終端,可耐受 10%~30% RH 的低濕環境,監測參數包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度(測量范圍 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空氣潔凈度等級等。采用電解法濕度傳感器,在低濕環境下測量精度仍保持 ±2% RH,數據刷新周期為 30 秒 / 次。系統具備與除濕機組的聯動調節功能,濕度波動控制在 ±3% 以內,使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務于中國商飛、航天科技集團等 12 家企業,助力其部件通過航天級環...
中源綠凈在半導體晶圓光刻潔凈室潔凈度監測中,打造了超微顆粒 管控體系。應用場景:半導體晶圓光刻潔凈車間。針對 10 級光刻 區,采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署,可實時采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達 50L/min,數據更新周期為 1 秒 / 次。系統搭載激光誘導擊穿光譜粒子計數器, 小檢測粒徑達 0.05μm,檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設備聯動,當 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時自動調節曝光環境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺積電等企業應用,符合 SEMI F21 潔凈...
中源綠凈針對化妝品膏體灌裝潔凈室的環境監測方案,聚焦于微生物與空氣潔凈度的協同監測。應用場景:化妝品膏霜灌裝潔凈車間。依據《化妝品生產質量管理規范》,在 C 級灌裝區部署監測終端,同步監測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 1 小時檢測 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~25℃,濕度 45%~65% RH)及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術,檢測時間從傳統 48 小時縮短至 2 小時,準確率達 98.6%。通過微生物濃度趨勢分析,提前 4 小時預警污染風險,配合灌裝設備消毒聯動,使產品微生物超標率下降 58%。已服務于歐萊雅、資生堂等企業,助力其通過化妝品...
中源綠凈為半導體晶圓切割潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了微粒與濕度的 管控。應用場景:晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區,部署防靜電監測終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、車間濕度(45%~55% RH,精度 ±2%)、切割區溫度(23±1℃)及靜電電壓(量程 - 500~+500V)。采用激光散射式粒子計數器, 小檢測粒徑達 0.1μm,配合濕度動態調節算法,可將濕度波動控制在 ±3% 以內。系統支持與切割設備聯動,當微粒濃度超標時自動暫停作業,使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導體應用,符合 SEMI F4...
中源綠凈針對航空航天部件潔凈室的環境監測方案,強化了低濕度環境下的潔凈度管控。依據 AS9100 航空質量管理體系要求,在航天發動機部件裝配的 8 級潔凈區,部署了低濕度 監測終端,可耐受 10%~30% RH 的低濕環境,監測參數包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度(測量范圍 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空氣潔凈度等級等。采用電解法濕度傳感器,在低濕環境下測量精度仍保持 ±2% RH,數據刷新周期為 30 秒 / 次。系統具備與除濕機組的聯動調節功能,濕度波動控制在 ±3% 以內,使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務于中國商飛、航天科技集團等 12 家企業,助力其部件通過航天級環...
中源綠凈為電子芯片測試潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了微粒與靜電的 管控。應用場景:芯片 終測試潔凈車間。針對 100 級測試潔凈區,部署防靜電監測終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數據更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)、測試區溫度(22±1℃)及濕度(40%~50% RH)。采用法拉第杯靜電傳感器實現非接觸式測量,響應時間≤0.5 秒,配合微粒溯源算法可快速定位污染源頭。系統支持與測試設備聯動,當靜電超標時自動啟動離子風扇,使芯片測試不良率下降 42%。已在長電科技、通富微電等企業應用,符合 JEDEC JESD2...
中源綠凈在半導體光刻潔凈室環境監測中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數協同體系。應用場景:半導體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區,采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署,實時監測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統搭載的激光粒子計數器 小分辨率達 0.1μm,可捕捉極細微顆粒變化。通過與空調系統聯動調節,當溫濕度偏離設定值時 10 秒內完成動態補償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電...
中源綠凈針對航空電子裝配潔凈室的環境監測方案,聚焦于微振動與靜電的 管控。應用場景:航空機載電子設備裝配潔凈室。依據 AS9100 航空質量管理體系要求,在 100 級潔凈裝配區部署一體化監測終端,同步監測 0.3μm 微粒濃度、環境振動(頻率范圍 1~500Hz,測量精度 ±0.001mm/s)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)及氣流速度(0.2~0.3m/s)。采用壓電式振動傳感器和非接觸式靜電探頭,數據采樣率達 1000Hz,確保捕捉細微參數變化。通過振動源識別算法,可快速定位設備運行引發的振動超標,配合靜電消除器聯動控制,使電子元件靜電損傷率下降 58%。已服務于...
中源綠凈針對航空航天部件潔凈室的環境監測方案,強化了低濕度環境下的潔凈度管控。依據 AS9100 航空質量管理體系要求,在航天發動機部件裝配的 8 級潔凈區,部署了低濕度 監測終端,可耐受 10%~30% RH 的低濕環境,監測參數包括 0.5μm 微粒濃度、 溫度(測量范圍 - 60~20℃,精度 ±0.5℃)、空氣潔凈度等級等。采用電解法濕度傳感器,在低濕環境下測量精度仍保持 ±2% RH,數據刷新周期為 30 秒 / 次。系統具備與除濕機組的聯動調節功能,濕度波動控制在 ±3% 以內,使航空部件表面氧化率下降 62%。已服務于中國商飛、航天科技集團等 12 家企業,助力其部件通過航天級環...
中源綠凈為食品無菌灌裝潔凈室定制的環境監測系統,強化了微生物與壓差的協同管控。應用場景:液態食品無菌灌裝車間。針對 C 級無菌灌裝區,部署防水型監測終端,同步監測沉降菌(每小時培養 1 次)、灌裝區與外界壓差(≥15Pa,精度 ±1Pa)、溫度(18~22℃,精度 ±0.5℃)及濕度(30%~40% RH)。采用膜過濾法微生物檢測技術,結果出具時間縮短至 3 小時,準確率達 99%。通過與灌裝線聯動控制,當微生物超標時立即停止灌裝并啟動環境消毒,使產品無菌合格率提升至 99.98%。已在伊利、蒙牛等企業應用,符合 GB 19304 無菌食品生產規范,環境監測數據準確率 100%。中源綠凈在環境...
中源綠凈針對醫療器械滅菌包裝潔凈室的環境監測方案,聚焦于微粒與密封性的協同管控。應用場景:醫療器械滅菌包裝車間。依據 ISO 11607 無菌包裝標準,在 8 級潔凈包裝區部署監測終端,同步監測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、包裝材料表面微生物(每 2 小時檢測 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~24℃,濕度 30%~50% RH)及氣壓。采用表面接觸式微生物采樣技術,檢測時間縮短至 30 分鐘,準確率達 99%。通過微粒濃度與包裝密封性關聯分析,提前預警包裝污染風險,配合包裝機參數調節,使包裝密封不良率下降 55%。已服務于強生醫療、美敦力等企業,助力其通過 FDA ...
中源綠凈針對化妝品膏體灌裝潔凈室的環境監測方案,聚焦于微生物與空氣潔凈度的協同監測。應用場景:化妝品膏霜灌裝潔凈車間。依據《化妝品生產質量管理規范》,在 C 級灌裝區部署監測終端,同步監測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 1 小時檢測 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~25℃,濕度 45%~65% RH)及氣壓差。采用接觸碟法微生物采樣技術,檢測時間從傳統 48 小時縮短至 2 小時,準確率達 98.6%。通過微生物濃度趨勢分析,提前 4 小時預警污染風險,配合灌裝設備消毒聯動,使產品微生物超標率下降 58%。已服務于歐萊雅、資生堂等企業,助力其通過化妝品...
中源綠凈為生物制藥配液潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了微生物與氣壓梯度的 監測。應用場景:無菌藥液配液潔凈車間。針對 A 級配液 區,部署每 1.2 平方米 1 個監測點,同步采集浮游菌(每 15 分鐘采樣 1 次,檢測下限 1CFU/m3)、0.5μm 微粒濃度、配液區與緩沖間壓差(≥20Pa,精度 ±1Pa)及溫濕度。采用快速顯色微生物檢測技術,結果出具時間從 72 小時縮短至 24 小時,準確率 99.2%。系統與配液攪拌設備聯動,參數異常時立即暫停作業,使藥液污染風險下降 65%。已在恒瑞醫藥、藥明康德應用,符合 GMP 附錄 1 要求,環境數據審計通過率 100%。中源綠凈的環境...
中源綠凈在制藥配液潔凈室環境監測中,打造了藥液制備全流程參數監控體系。針對無菌配液的 A 級潔凈區,采用每 1 平方米 1 個監測點的超高密度部署,實時監測懸浮粒子(0.5μm 和 5μm 雙粒徑同時監測,采樣流量 50L/min)、微生物濃度(每 15 分鐘采樣一次)、環境溫濕度(溫度控制在 20~24℃,精度 ±0.5℃;濕度 45%~65% RH,精度 ±3%)及壓差( 區與緩沖區間壓差≥20Pa)。系統搭載的激光粒子計數器 小檢測粒徑達 0.3μm,數據存儲容量可滿足 365 天全量數據回溯。通過與配液系統聯動,當參數超標時自動觸發配液暫停,使配液不合格率下降 65%。已在齊魯制藥、藥...
中源綠凈在半導體光刻潔凈室環境監測中,打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數協同體系。應用場景:半導體光刻工藝潔凈室。針對 10 級光刻潔凈區,采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署,實時監測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、溫度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、濕度(45±2% RH,精度 ±1%)及相鄰區域壓差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系統搭載的激光粒子計數器 小分辨率達 0.1μm,可捕捉極細微顆粒變化。通過與空調系統聯動調節,當溫濕度偏離設定值時 10 秒內完成動態補償,使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國際、臺積電...
中源綠凈針對醫療器械注塑潔凈室的環境監測方案,強化了粉塵與模具溫度的協同管控。依據 ISO 13485 醫療器械質量管理體系要求,在注塑成型的 8 級潔凈區,部署了防高溫監測終端,可耐受車間 60℃的環境溫度,監測參數包括 1μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、模具表面溫度(測量范圍 20~200℃,精度 ±1℃)、車間濕度(控制在 30%~50% RH)。采用紅外測溫技術實現非接觸式模具溫度監測,數據采樣間隔 1 秒 / 次,確保及時發現溫度波動。通過粉塵 - 溫度關聯分析,提前預警注塑件粘模風險,使醫療器械注塑合格率提升 38%。已服務于美敦力、強生醫療等 10 家企業,助力...
中源綠凈為半導體晶圓切割潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了微粒與濕度的 管控。應用場景:晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區,部署防靜電監測終端,同步采集 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min,數據更新周期 2 秒)、車間濕度(45%~55% RH,精度 ±2%)、切割區溫度(23±1℃)及靜電電壓(量程 - 500~+500V)。采用激光散射式粒子計數器, 小檢測粒徑達 0.1μm,配合濕度動態調節算法,可將濕度波動控制在 ±3% 以內。系統支持與切割設備聯動,當微粒濃度超標時自動暫停作業,使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導體應用,符合 SEMI F4...
中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環境監測系統,強化了微振動與潔凈度的協同監測。應用場景:精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區,部署高精度監測終端,同步監測 0.3μm 微粒濃度(采樣流量 50L/min)、環境振動(頻率 1~1000Hz,精度 ±0.001mm/s)、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器,數據采樣率達 1000Hz,可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法,提前預警設備運行引發的振動超標,使儀器裝配精度(公差≤0.001mm)達標率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業應用,符合 ISO 10110 光學儀器標準,環境穩定性達標率 99.93%。中源綠凈為 8...
中源綠凈為生物安全柜潔凈室開發的環境監測系統,重點強化了氣流與微生物的 監測。應用場景:生物安全柜操作潔凈室。針對 P2 級生物安全實驗室,部署 監測終端,同步采集安全柜出風口風速(0.38±0.02m/s,精度 ±0.01m/s)、下沉氣流速度(0.25~0.3m/s)、浮游菌濃度(每小時采樣 1 次,檢測下限 1CFU/m3)及室內壓差(≥10Pa)。采用熱球式風速儀實現高精度氣流監測,數據采樣頻率 10 次 / 秒,確保捕捉氣流波動。系統具備與安全柜聯動功能,當氣流速度異常時立即聲光報警并自動關閉操作窗口,使微生物泄漏風險下降 70%。已在中科院生物所、協和醫院實驗室應用,符合 GB 5...
中源綠凈針對半導體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監測方案,聚焦于腐蝕性環境下的 監測。應用場景:半導體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區,配置防腐蝕監測終端,可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環境,實時監測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min)、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封裝傳感器,檢測精度在腐蝕性環境中仍保持 ±10% 以內。通過與蝕刻槽聯動控制,當微粒濃度超標時自動啟動局部排風,使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務于華虹半導體、士蘭微等企業,符合 SEMI S2 安全標準,潔凈度監測準確率 99.92%。中源綠凈在環境...
中源綠凈針對醫療器械滅菌包裝潔凈室的環境監測方案,聚焦于微粒與密封性的協同管控。應用場景:醫療器械滅菌包裝車間。依據 ISO 11607 無菌包裝標準,在 8 級潔凈包裝區部署監測終端,同步監測 0.5μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 5 秒)、包裝材料表面微生物(每 2 小時檢測 1 次)、車間溫濕度(溫度 20~24℃,濕度 30%~50% RH)及氣壓。采用表面接觸式微生物采樣技術,檢測時間縮短至 30 分鐘,準確率達 99%。通過微粒濃度與包裝密封性關聯分析,提前預警包裝污染風險,配合包裝機參數調節,使包裝密封不良率下降 55%。已服務于強生醫療、美敦力等企業,助力其通過 FDA ...
中源綠凈在電子元器件組裝無塵車間環境監測中,構建了微粒 - 靜電 - 氣流多參數協同體系。應用場景:電子元器件無塵組裝車間。針對 1000 級組裝區,采用每 3 平方米 1 個監測終端的布局,實時監測 0.5μm 微粒濃度(采樣流量 28.3L/min,數據更新周期 3 秒)、靜電電壓(量程 - 1000~+1000V,精度 ±10V)、氣流速度(0.2~0.4m/s,精度 ±0.02m/s)及溫濕度(溫度 20~25℃,濕度 40%~60% RH)。系統搭載的激光粒子計數器 小檢測粒徑達 0.3μm,配合非接觸式靜電傳感器,響應時間均≤1 秒。通過與流水線聯動控制,當微粒濃度超標時自動啟動局...
中源綠凈在醫療器械清洗潔凈室環境監測中,構建了水質 - 微粒雙參數協同體系。應用場景:醫療器械清洗消毒潔凈車間。針對手術器械清洗的 B 級潔凈區,采用每 2 平方米 1 個監測終端的布局,實時監測清洗用水微粒濃度(0.5μm 粒徑,檢測下限 10 粒 / L)、車間空氣浮游菌(每 30 分鐘采樣 1 次)、水溫(40~60℃,精度 ±0.5℃)及相鄰區域壓差(≥15Pa)。系統搭載的在線水質傳感器響應時間≤2 秒,數據采樣頻率 5 次 / 秒,可同步捕捉水中與空氣中的污染風險。通過與清洗設備聯動,當水質微粒超標時自動切換過濾系統,使器械清洗合格率提升 38%。已在邁瑞醫療、威高集團應用,符合 ...
中源綠凈為生物樣本庫潔凈室定制的環境監測系統,聚焦于低溫環境下的參數穩定性監測。針對 - 80℃超低溫冰箱存放區的 B 級潔凈區,部署了耐低溫監測終端,可在 - 40~50℃環境下穩定運行,監測參數包括空氣潔凈度(0.5μm 微粒濃度)、庫內溫度(波動范圍 ±1℃)、濕度(≤45% RH)及氣壓差。采用鉑電阻溫度傳感器,在低溫環境下測量精度達 ±0.3℃,數據傳輸采用低溫 電纜,確保 - 80℃環境下信號無衰減。系統具備雙路報警機制,溫度異常時 30 秒內觸發聲光 + 短信報警,使樣本保存事故率下降 70%。已在國家基因庫、協和醫院樣本庫應用,符合 ISO 20387 生物樣本庫要求,參數監測...
中源綠凈在食品添加劑潔凈車間環境監測中,推出了粉塵 - 微生物雙維度方案。應用場景:食品添加劑生產潔凈車間。針對 C 級潔凈生產區,配置防塵防潮監測終端,同步監測 1μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、微生物總數(檢測頻率 1 次 / 小時)、溫度(18~26℃,精度 ±0.5℃)及濕度(40%~60% RH)。采用光散射法粉塵傳感器,響應時間≤1 秒,數據存儲支持 365 天全量回溯。系統對接生產 MES 系統,當粉塵濃度超標時自動啟動除塵裝置,使添加劑純度(≥99.5%)達標率提升 40%。通過微生物趨勢預警,提前 6 小時識別污染風險,使產品微生物超標率下降 60%。已在阜...