大宗特氣系統是半導體制造工廠的主要支撐體系之一,直接關系到全廠生產的連續性與產品良率。該系統專為集成電路芯片制造等高精度工藝設計,能夠在氣柜存儲基礎上實現大規模、高純度的氣體穩定輸送。相比傳統供氣方式,大宗特氣系統具備更嚴苛的品質控制能力,可適應半導體生產中對...
特氣管道系統的設計與規模,直接反映了制造工廠的技術等級與產能。一條先進的12英寸晶圓產線,其特氣系統可能涉及數十種氣體、長達數公里的雙套管網絡、上百個VMB/VMP,投資巨大。它的穩定運行,是保障納米級芯片制造工藝重復性、一致性的基礎,是工廠連續不停產的前提。...
安全性設計滲透于系統的每一個細節。除了雙套管,管道閥門均采用隔膜閥或超高密封性閥件,接頭為焊接或特殊金屬面密封。所有可能接觸氣體的部件,均需選用與氣體兼容的高等級不銹鋼或特殊合金,并經過電拋光、鈍化等處理,以比較大限度減少出氣、吸附和顆粒產生,同時抵抗腐蝕。安...
實驗室供氣系統,是現在一種普遍被采用的供氣方式,它主要是由氣源,切換裝置,調壓裝置,終端用氣點,監控及報警裝置組成。簡單來說,實驗室集中供氣系統就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房,通過氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個實驗室(即儀器端)的系統。實驗室集中供氣系統操作原理:...