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管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規(guī)定時間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。我們的解決方案服務(wù)于集成電路制造,保障芯片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的氣體質(zhì)量與穩(wěn)定。江西高純氣體管道系統(tǒng)多少錢

面對種類繁多的特氣,系統(tǒng)的材質(zhì)選擇與設(shè)計(jì)需“量氣而定”。對于腐蝕性極強(qiáng)的氣體如Cl2、HCl,需選用耐蝕的哈氏合金;對于易自燃的SiH4,系統(tǒng)需徹底排除空氣,并配備自燃抑制劑或緊急排放燃燒裝置;對于毒性氣體如砷烷、磷烷,其雙套管負(fù)壓要求更高,排氣必須接入專門用的廢氣處理系統(tǒng)(Scrubber)進(jìn)行無害化處理。系統(tǒng)的工程建設(shè)是一項(xiàng)高度專業(yè)化的任務(wù)。從初期根據(jù)工廠布局和工藝需求進(jìn)行三維布線設(shè)計(jì),到選擇符合SEMI、ASME等國際標(biāo)準(zhǔn)的部件,再到在潔凈室環(huán)境內(nèi)由持證人員進(jìn)行精密安裝,每一環(huán)節(jié)都需遵循嚴(yán)格的作業(yè)規(guī)范??⒐ず?,必須通過壓力測試、氦質(zhì)譜檢漏測試、顆粒測試及氣體純度驗(yàn)證等一系列嚴(yán)苛驗(yàn)收,方可投入運(yùn)行。河北大宗特氣系統(tǒng)在半導(dǎo)體工廠,我們的系統(tǒng)為光刻、刻蝕、CVD等工序提供氣體支持。

我們是一支專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。我們的成員擁有多年的管路工藝及安裝技術(shù)背景,多來自國內(nèi)公司的骨干。我們是一支年輕的團(tuán)隊(duì)。我們的平均年齡只有30歲,充滿了朝氣和創(chuàng)新精神。我們是一支專注的團(tuán)隊(duì)。我們堅(jiān)信,安全的工藝品質(zhì)源自客戶的信任。只有專注,才能做好安全。我們是一支有夢想的團(tuán)隊(duì)。我們來自五湖四海,因?yàn)橐粋€共同的夢想:做一家真正優(yōu)異的信息安全企業(yè),為客戶提供可靠的工藝及設(shè)備的安全防護(hù)。
簡單:人與人之間交流的簡單,追求工藝設(shè)計(jì)與安裝的至簡化。正直:信守承諾,做正直的事,做正直的人。創(chuàng)新:創(chuàng)新是進(jìn)步的靈魂,勇與嘗試,大膽想象。成長:好的成長,就是每天進(jìn)步一點(diǎn)點(diǎn)。
管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。潔凈氣體管道工程,為您的潔凈室環(huán)境提供動脈。

系統(tǒng)特色為使GDS系統(tǒng)具有高可靠性,在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上,應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則,對系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性:采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備,充分利用現(xiàn)有高新技術(shù),系統(tǒng)達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性:采用成熟的技術(shù)、品牌及型號,并以標(biāo)準(zhǔn)方式建設(shè),保證系統(tǒng)運(yùn)行的良好。開放性:遵循相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),能夠支持各種網(wǎng)絡(luò)和終端設(shè)備,支持各種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及開放的通訊協(xié)議。擴(kuò)展性:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)先進(jìn)、合理,軟件、硬件擴(kuò)充方便??煽啃裕禾峁┤蒎e設(shè)計(jì)。支持故障檢測和恢復(fù),可管理性強(qiáng)。實(shí)用性:充分結(jié)合現(xiàn)場實(shí)際及用戶選定的通訊方式,滿足系統(tǒng)應(yīng)用要求??删S護(hù)性:選用國內(nèi)容易支持的、標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品型號協(xié)議開放,易于維護(hù)。經(jīng)濟(jì)性:在設(shè)計(jì)時充分考慮業(yè)主的實(shí)際情況,達(dá)到較高的性能價(jià)格比微電子行業(yè)對痕量雜質(zhì)極其敏感,我們的系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)氣體的超純輸送。江西潔凈氣體管道系統(tǒng)找哪家
公司致力于通過技術(shù)創(chuàng)新,幫助客戶提升產(chǎn)品良率、生產(chǎn)安全與環(huán)保水平。江西高純氣體管道系統(tǒng)多少錢
實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室,安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放,方便用戶集中檢查,節(jié)省成本和操作時間的同時,也當(dāng)然存在安全隱患,但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話,危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失:易燃?xì)怏w報(bào)警:如果氣瓶是集中存放的話,可以節(jié)少成本,用戶只需在實(shí)驗(yàn)室的角落安裝一個氣體泄漏報(bào)警/易燃?xì)怏w探頭,如果氣瓶房氣體發(fā)生泄漏的話,感應(yīng)探頭會即刻將信號傳至中心實(shí)驗(yàn)室的液晶顯示瓶上,并發(fā)出預(yù)警的聲音,這樣用戶就可以發(fā)即時維修。低壓報(bào)警:當(dāng)用戶在實(shí)驗(yàn)室工作時,需要知道氣體是否快要用盡,氣瓶壓力是否足夠,這對實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)不間斷氣體供應(yīng)是很重要的江西高純氣體管道系統(tǒng)多少錢
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