中源綠凈在半導體晶圓光刻潔凈室潔凈度監測中，打造了超微顆粒 管控體系。應用場景：半導體晶圓光刻潔凈車間。針對 10 級光刻 區，采用每 1.5 平方米 1 個監測終端的高密度部署，可實時采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達 50L/min，數據更新周期為 1 秒 / 次。系統搭載激光誘導擊穿光譜粒子計數器， 小檢測粒徑達 0.05μm，檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設備聯動，當 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時自動調節曝光環境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺積電等企業應用，符合 SEMI F21 潔凈度標準，連續運行數據顯示潔凈度達標率達 99.96%。中源綠凈環境監測系統，助力 45 + 保健食品廠潔凈監測，達標率 100%！深圳激光環境監測在線監測系統

中源綠凈為光學鏡片鍍膜潔凈室定制的環境監測系統，聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對鏡片鍍膜的 10 級潔凈區，部署了超高精度監測終端，可檢測 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 100L/min）、鍍膜氣體純度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）、環境溫濕度及氣壓。采用激光誘導擊穿光譜技術（LIBS）檢測氣體純度，響應時間≤1 秒，數據采樣頻率達 10 次 / 秒。通過與鍍膜機聯動控制，當氣體純度不達標時自動切斷氣源，使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學、舜宇光學等企業應用，滿足 ISO 10110 光學鏡片標準，環境管控達標率維持在 99.9%。蘇州無塵車間環境監測檢測中源綠凈的環境監測設備，幫 55 + 溫室大棚監測，作物產量提升 15%！

中源綠凈針對醫療器械組裝無塵車間的環境監測方案，聚焦于微粒與微生物的雙重管控。應用場景：醫療器械無塵組裝車間。依據 ISO 13485 醫療器械質量管理體系，在 8 級潔凈組裝區部署監測終端，同步監測 0.5μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、表面微生物（每 2 小時檢測 1 次）、工作臺面照度（≥300lux，精度 ±20lux）及溫濕度。采用接觸碟法微生物采樣技術，檢測結果出具時間縮短至 2 小時，準確率 99%。通過與組裝設備聯動，當微生物超標時自動鎖定作業區域，使醫療器械無菌合格率提升至 99.95%。已服務于邁瑞醫療、魚躍醫療等企業，助力通過 FDA 現場核查，環境監測合規率 100%。

中源綠凈針對半導體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監測方案，聚焦于腐蝕性環境下的 監測。應用場景：半導體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區，配置防腐蝕監測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環境，實時監測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環境中仍保持 ±10% 以內。通過與蝕刻槽聯動控制，當微粒濃度超標時自動啟動局部排風，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務于華虹半導體、士蘭微等企業，符合 SEMI S2 安全標準，潔凈度監測準確率 99.92%。中源綠凈的環境監測方案，助力 30 + 企業實現綠色生產，符合環保要求！

中源綠凈為精密儀器裝配無塵車間定制的環境監測系統，強化了微振動與潔凈度的協同監測。應用場景：精密儀器無塵裝配車間。針對 100 級裝配區，部署高精度監測終端，同步監測 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min）、環境振動（頻率 1~1000Hz，精度 ±0.001mm/s）、空氣潔凈度等級及溫濕度。采用壓電式振動傳感器，數據采樣率達 1000Hz，可捕捉微米級振動信號。通過振動源定位算法，提前預警設備運行引發的振動超標，使儀器裝配精度（公差≤0.001mm）達標率提升 42%。已在蔡司、徠卡等企業應用，符合 ISO 10110 光學儀器標準，環境穩定性達標率 99.93%。中源綠凈的環境監測設備，幫 35 + 香精廠儲存監測，品質保持期延長 3 個月！0.5um環境監測監測

中源綠凈環境監測系統，助力 55 + 乳制品廠冷鏈監測，腐壞率降 5%！深圳激光環境監測在線監測系統

中源綠凈在化妝品無菌灌裝潔凈室環境監測中，構建了微生物 - 微粒雙參數實時防控體系。應用場景：化妝品無菌灌裝車間。針對妝字號無菌產品灌裝的 A 級潔凈區，采用每 2 平方米 1 個監測終端的布局，實時監測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min，每 5 秒更新一次數據）、浮游菌數量（每 30 分鐘采樣一次，檢測下限 1CFU/m3）、環境溫濕度（溫度 20~25℃，精度 ±0.5℃；濕度 40%~60% RH，精度 ±2%）及灌裝區壓差（≥15Pa）。系統搭載的微生物快速檢測模塊采用 ATP 生物熒光技術，檢測時間從傳統 48 小時縮短至 15 分鐘，準確率達 98.5%。通過與灌裝線 PLC 聯動，當參數超標時 0.5 秒內觸發停機，使產品微生物不合格率下降 62%。已在完美、丸美等企業應用，符合《化妝品生產質量管理規范》，環境數據審計通過率 100%。深圳激光環境監測在線監測系統