中源綠凈潔凈度在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可根據(jù) ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)中不同潔凈度等級(jí)(如 Class 5、Class 6、Class 7、Class 8)的要求,靈活配置監(jiān)測(cè)參數(shù),系統(tǒng)對(duì) Class 5 潔凈區(qū)(0.5μm 粒子濃度≤1200 PCS/m3)的監(jiān)測(cè)誤差控制在 ±5% 以內(nèi),對(duì) Class 8 潔凈區(qū)(0.5μm 粒子濃度≤3520000 PCS/m3)的監(jiān)測(cè)誤差≤±3%。電子廠生產(chǎn)芯片、精密電子元件時(shí),對(duì)潔凈度等級(jí)要求極高,若監(jiān)測(cè)系統(tǒng)無法匹配等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),可能導(dǎo)致產(chǎn)品良率波動(dòng) —— 某電子廠生產(chǎn) 7nm 芯片時(shí),因原監(jiān)測(cè)系統(tǒng)未達(dá)到 Class 5 級(jí)監(jiān)測(cè)精度,誤判潔凈區(qū)合格,導(dǎo)致某批次芯片良率為 75%,低于正常水平 10 個(gè)百分點(diǎn)。該系統(tǒng)通過監(jiān)測(cè)不同等級(jí)潔凈區(qū)的粒子濃度,實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前區(qū)域潔凈度等級(jí)是否達(dá)標(biāo),當(dāng)濃度接近等級(jí)上限時(shí),自動(dòng)觸發(fā)預(yù)警,例如 Class 6 潔凈區(qū) 0.5μm 粒子濃度達(dá)到 24000 PCS/m3(等級(jí)上限為 35200 PCS/m3)時(shí),系統(tǒng)推送預(yù)警信息,提醒管理人員及時(shí)干預(yù)。中源綠凈的模塊化潔凈室,采用環(huán)保材料占比 80%,為 20 + 實(shí)驗(yàn)室減少甲醛釋放量 30%!蘇州激光潔凈室在線監(jiān)測(cè)

中源綠凈應(yīng)對(duì)潮濕環(huán)境挑戰(zhàn),其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)具備的防潮防護(hù)設(shè)計(jì),相對(duì)濕度適應(yīng)范圍達(dá) 5%~95%(無冷凝),控制模塊采用密封式防潮封裝,電路板涂刷三防漆(防潮濕、防霉菌、防鹽霧),F(xiàn)FU 聯(lián)動(dòng)接口具備防水防塵設(shè)計(jì)(IP65 防護(hù)等級(jí)),避免潮濕空氣導(dǎo)致的設(shè)備故障。系統(tǒng)內(nèi)置濕度監(jiān)測(cè)功能,當(dāng)環(huán)境濕度接近冷凝點(diǎn)時(shí),自動(dòng)調(diào)整 FFU 聯(lián)動(dòng)策略(如適當(dāng)提升風(fēng)速促進(jìn)除濕),同時(shí)發(fā)出除濕提醒。在南方梅雨季節(jié)的潔凈車間、沿海地區(qū)的工廠,高濕度環(huán)境易導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部結(jié)露、部件腐蝕,產(chǎn)品的防潮設(shè)計(jì)可有效避免此類問題;在食品加工車間的清洗區(qū)域附近,潮濕空氣不會(huì)影響系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行。適用場(chǎng)景包括潮濕地區(qū)企業(yè)、食品加工車間、沿海工廠、高濕度實(shí)驗(yàn)室等,系統(tǒng)經(jīng)過濕熱環(huán)境可靠性測(cè)試,在 40℃、95% 相對(duì)濕度條件下可連續(xù)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行 1500 小時(shí)無故障,防潮設(shè)計(jì)不影響聯(lián)動(dòng)響應(yīng)速度與檢測(cè)精度,監(jiān)測(cè)終端表面采用防水涂層,可直接擦拭清潔,進(jìn)一步提升潮濕環(huán)境下的使用便利性,支持與車間除濕系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),形成多維度防潮管控。?蘇州芯片半導(dǎo)體潔凈室顆粒物在線監(jiān)測(cè)中源綠凈模塊化潔凈室,可定制高度達(dá) 3.5m,為 40 + 企業(yè)滿足大型設(shè)備安裝需求!

中源綠凈構(gòu)建故障應(yīng)急管控體系,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) FFU 運(yùn)行狀態(tài)(電機(jī)轉(zhuǎn)速、風(fēng)機(jī)故障、通訊異常等),當(dāng)某臺(tái) FFU 出現(xiàn)故障時(shí),系統(tǒng)立即啟動(dòng)應(yīng)急聯(lián)動(dòng)方案,自動(dòng)調(diào)度周邊 FFU 提升風(fēng)速,彌補(bǔ)故障區(qū)域的潔凈度防護(hù)缺口,同時(shí)發(fā)出故障報(bào)警并記錄相關(guān)信息。應(yīng)急聯(lián)動(dòng)響應(yīng)時(shí)間小于 10 秒,可快速維持區(qū)域潔凈度穩(wěn)定,避免故障導(dǎo)致的環(huán)境惡化。在半導(dǎo)體光刻車間,若某臺(tái)區(qū)域 FFU 故障,周邊 FFU 可在 3 秒內(nèi)啟動(dòng)提速,確保光刻工藝不受影響;在無菌制藥車間,F(xiàn)FU 故障時(shí)應(yīng)急聯(lián)動(dòng)可防止?jié)崈舳认禄苊馍a(chǎn)批次報(bào)廢。適用場(chǎng)景包括對(duì) FFU 可靠性要求高的潔凈室,尤其是生產(chǎn)區(qū)域,系統(tǒng)支持故障 FFU 定位與維修提醒,自動(dòng)生成故障處理建議(如替換備件型號(hào)、維修步驟),幫助工作人員快速修復(fù),同時(shí)應(yīng)急聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù)與故障記錄自動(dòng)關(guān)聯(lián),便于分析故障原因與優(yōu)化聯(lián)動(dòng)策略,降低故障對(duì)生產(chǎn)的影響。?
中源綠凈的潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),在晶圓制造的光刻車間,超小粒徑監(jiān)測(cè)與電磁抗干擾功能結(jié)合,可保障光刻過程的環(huán)境穩(wěn)定,避免微粒與電磁干擾影響光刻精度;在芯片封裝的引線鍵合車間,系統(tǒng)與 FFU 的聯(lián)動(dòng)控制可快速應(yīng)對(duì)潔凈度波動(dòng),確保鍵合過程中芯片與引線的連接質(zhì)量;在半導(dǎo)體材料倉儲(chǔ)區(qū),系統(tǒng)同步監(jiān)測(cè)溫濕度與微粒濃度,防止材料受潮或受污染,保障后續(xù)生產(chǎn)的原料質(zhì)量。此外,系統(tǒng)還支持半導(dǎo)體行業(yè)特有的 “無塵室分區(qū)監(jiān)測(cè)”,可根據(jù)車間內(nèi)的潔凈級(jí)別(如 1 級(jí)、10 級(jí)、100 級(jí))劃分監(jiān)測(cè)區(qū)域,每個(gè)區(qū)域設(shè)置的監(jiān)測(cè)參數(shù)與預(yù)警閾值,滿足不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的差異化需求。中源綠凈的潔凈度環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),通過電子半導(dǎo)體行業(yè)的定制功能,為企業(yè)解決了行業(yè)特有的監(jiān)測(cè)痛點(diǎn),成為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中不可或缺的環(huán)境管控工具。中源綠凈為 50 + 半導(dǎo)體封裝車間建模塊化潔凈室,封裝良率提升 8%,減少生產(chǎn)成本!

中源綠凈經(jīng)過 1500 + 場(chǎng)景實(shí)測(cè)驗(yàn)證,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)可實(shí)時(shí)捕捉潔凈室微粒濃度數(shù)據(jù)(檢測(cè)頻率 1 次 / 秒),當(dāng)濃度超出預(yù)設(shè)閾值時(shí),自動(dòng)向?qū)?yīng)區(qū)域 FFU 發(fā)送風(fēng)速調(diào)節(jié)指令,實(shí)現(xiàn)從低速運(yùn)行(0.3m/s)到高速運(yùn)行(0.6m/s)的無級(jí)調(diào)速,快速降低微粒濃度至合格范圍。系統(tǒng)內(nèi)置風(fēng)速調(diào)節(jié)算法,可根據(jù)超標(biāo)幅度智能匹配調(diào)節(jié)幅度,輕微超標(biāo)時(shí)小幅提升風(fēng)速,避免能耗浪費(fèi);嚴(yán)重超標(biāo)時(shí)全額提速,確保快速達(dá)標(biāo)。在半導(dǎo)體晶圓制造車間,當(dāng)光刻區(qū)域潔凈度超標(biāo)時(shí),系統(tǒng)可調(diào)節(jié)該區(qū)域 FFU 風(fēng)速,30 秒內(nèi)即可將 0.1μm 微粒濃度降至 ISO 1 級(jí)標(biāo)準(zhǔn);在無菌制藥 A 級(jí)潔凈區(qū),系統(tǒng)通過風(fēng)速動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié),維持區(qū)域內(nèi)微粒濃度穩(wěn)定,避免人工干預(yù)不及時(shí)導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷。適用場(chǎng)景包括對(duì)潔凈度響應(yīng)速度要求高的電子、制藥、醫(yī)療等行業(yè),系統(tǒng)風(fēng)速調(diào)節(jié)精度達(dá) ±0.02m/s,可根據(jù)潔凈等級(jí)需求預(yù)設(shè)風(fēng)速閾值范圍,同時(shí)記錄每次調(diào)節(jié)的時(shí)間、原因、效果等數(shù)據(jù),便于追溯分析,聯(lián)動(dòng)過程無需人工操作,既提升管控效率,又減少人為失誤。?中源綠凈為 55 + 實(shí)驗(yàn)室打造模塊化潔凈室,振動(dòng)控制在 50μm 以下,滿足精密儀器需求!蘇州潔凈室潔凈室計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈為 25 + 生物制藥研發(fā)中心打造模塊化潔凈室,實(shí)驗(yàn)環(huán)境穩(wěn)定,研發(fā)周期縮短 15%!蘇州激光潔凈室在線監(jiān)測(cè)
中源綠凈的潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),以多參數(shù)同步采集為設(shè)計(jì)亮點(diǎn),可同時(shí)捕捉潔凈環(huán)境中的多項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo),為用戶構(gòu)建起全維度的環(huán)境感知體系,避一參數(shù)監(jiān)測(cè)導(dǎo)致的環(huán)境狀態(tài)誤判。該系統(tǒng)能監(jiān)測(cè)空氣中 0.3μm、0.5μm、5μm 等多粒徑段微粒濃度,同時(shí)兼容浮游菌、沉降菌等微生物指標(biāo)采集,還可同步記錄溫度、濕度、壓差、風(fēng)速等輔助環(huán)境參數(shù),形成完整的潔凈環(huán)境數(shù)據(jù)鏈條。在參數(shù)采集過程中,系統(tǒng)搭載的高精度傳感器組采用激光散射與阻抗法結(jié)合的技術(shù),微粒濃度監(jiān)測(cè)分辨率可達(dá) 1 粒 /m3,微生物監(jiān)測(cè)可識(shí)別常見的細(xì)菌、類別,溫濕度監(jiān)測(cè)誤差分別控制在 ±0.5℃、±3% RH 以內(nèi),確保各項(xiàng)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與參考價(jià)值。蘇州激光潔凈室在線監(jiān)測(cè)