基于先進制造技術的厘米級微型渦輪噴氣發動機（Micro Turbo Engine，MTE），是滿足將來微型飛行器對高能量儲存密度、高功率重量比的動力裝置需求的有效方案，也可以作為將來的野戰便攜式能源。由于MTE的尺寸比常規發動機尺寸縮小許多，從氣動熱力循環、燃燒、轉子、渦輪、壓氣機、軸承等許多方而都而臨了新的問題。因此必須進行一系列的實驗，從而為微型渦噴發動機的研制提供充足的實驗數據。如發動機各個部分內的流體的壓力和流速的測量實驗等。為了能方便測量出流體的壓力、流速等數據，必須使測量探針能夠在X、Y、Z三個方向實現精確移動，而且能使探針到達指定的空間位置，所以將探針通過支架安裝在能夠實現X、Y、Z三向移動的平臺上。在要求探針支架具有足夠剛度的同時要求此移動平臺具有足夠的移動分辨率和較高的移動精度。在醫療領域，精密平臺用于支撐各種診斷設備，如CT掃描儀、手術機器人等。高新區銷售精密平臺廠家直銷

方杰等 [2]通過利用尋邊器和XYZ平臺進行同軸度測量和調節，電主軸和測功機之間的同軸度能達到0.02mm以內，達到了聯軸器、電主軸、測功機正常運行的同軸度要求。在實際的測量過程中，很好地避免了千分表重力對同軸度測量結果的影響，使實測值能反映電主軸和測功機真實的同軸度。由于借助第三方基準—XYZ平臺，很好地避免由于被測軸和基準軸軸徑比較小，軸階多，軸階較短，導致千分表的磁力表座很難平穩地吸附在基準軸上的情況。由于XYZ平臺每軸的有效行程較大，數字式三維工件尋邊器有很高的測量精度和顯示精度，該同軸度測量和調節方法能很好地測量電主軸和測功機輸出軸軸線夾角，使同軸度的調節工作變得簡單。張家港國產精密平臺現貨應用：半導體制造（如晶片切割、光掩模對準）、光電子、醫療設備等領域。

高精度定位平臺是基于精密機械與檢測系統耦合設計的科學儀器，可實現納米級運動控制。其**技術包括三心精合布局、直線電機驅動架構及立式反饋裝置，有效解決傳統平臺的非線性誤差與振動干擾問題 [2]。典型產品如M-511.DDB型伺服平臺可實現0.1μm步長定位精度，P-562.3CD型壓電平臺達到1nm閉環分辨率 [1]。2024年披露的創新設計通過磁鐵陣列與對稱雙線圈結構優化，具備高加速度、快速往復運動特性，適用于精密制造與材料科學領域 [2]。

三、精密平臺的應用場景半導體制造光刻機工件臺：實現硅片的納米級平移和旋轉，提升分辨率和套刻精度。晶圓測試設備：通過高精度定位確保芯片封裝質量。光學與激光加工激光加工平臺：實現亞微米級位置控制，完成精密切割或打孔。光學調整平臺：通過氣浮導軌減少振動，保障光路穩定性。生物醫療細胞操控平臺：利用柔性結構微調生物樣本位置，支持顯微操作。納米技術平臺：實現納米級材料沉積或檢測。工業自動化自動化檢測線：通過多自由度平**成復雜工件的視覺檢測。傳感器：如光柵尺，用于測量和控制系統中的位置、運動和相對位移。

XYZ平臺主要包括X軸移動部分，Y軸移動部分，Z軸移動部分。其結構如圖1所示。各軸的聯軸器可用于連接伺服電機，實現自動調節，也可以直接和旋轉圓盤連接實現手動調節。三坐標精密移動平臺的X、Y、Z三個方向的部件具有相同結構，都包括各自的傳動系統、導向系統、驅動系統、基于容柵傳感器的數顯位移測量系統以及相應的支撐部件。平臺在X、Y、Z三個方向的結構安排采用下述方案，即以X向的底板固定在基座上，Y向的底板固定在X向的移動拖板上，Z向的底板通過角鐵與Y向的拖板固定。測量探針可以通過支架安裝在2向的拖板上，由Z向的拖板的上下運動實現探針曠Z向移動。整個Z向的部件安裝在Y向的拖板上，所以Y向的拖板能夠實現探針的Y向移動。同樣，平臺也能夠實現探針的X向移動。晶圓測試設備：通過高精度定位確保芯片封裝質量。工業園區智能化精密平臺哪里買

結合傳感器和物聯網技術，未來的精密平臺將具備自我監測和調節的能力，提高操作的自動化水平。高新區銷售精密平臺廠家直銷

精密光學平臺是一種通過特殊結構設計實現振動隔離的工藝試驗儀器，其動態力學特性直接影響光學實驗的準確性和可靠性 [2-4] [6] [8]。**結構采用蜂窩支撐、復合阻尼材料等設計，具有高剛性、低振幅和高平面度等特點，可適配M6安裝孔陣列的精密部件固定 [2] [6-7]。主要分為氣囊減振（0.7-3Hz）和機械阻尼減振（3-6Hz）兩類，應用于光學、航天、精密機械制造等領域的精密實驗及儀器搭載 [3-4]。2025年成立的復旦大學上海市超精密光學工程技術研究中心，標志著該領域的技術研發進入新階段 [5]。高新區銷售精密平臺廠家直銷

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