國(guó)瑞熱控氮化鋁陶瓷加熱盤(pán)以99.5%高純氮化鋁為基材,通過(guò)干壓成型與1800℃高溫?zé)Y(jié)工藝制成,完美適配半導(dǎo)體高溫工藝需求!其熱導(dǎo)率可達(dá)220W/mK,熱膨脹系數(shù)*4.03×10??/℃,與硅晶圓熱特性高度匹配,有效避免高溫下因熱應(yīng)力導(dǎo)致的晶圓翹曲!內(nèi)部嵌入鎢制加熱元件,經(jīng)共燒工藝實(shí)現(xiàn)緊密結(jié)合,加熱面溫度均勻性控制在±1℃以內(nèi),工作溫度上限提升至800℃,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)鋁合金加熱盤(pán)的450℃極限!表面經(jīng)精密研磨拋光處理,平面度誤差小于0.01mm,可耐受等離子體長(zhǎng)期轟擊無(wú)損傷,在晶圓退火、氧化等高溫工藝中表現(xiàn)穩(wěn)定,為國(guó)產(chǎn)替代提供高性能材質(zhì)解決方案!設(shè)計(jì)生產(chǎn)精益求精,溫度一致性優(yōu),動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力出色。吉林晶圓鍵合加熱盤(pán)廠家

國(guó)瑞熱控針對(duì)半導(dǎo)體量子點(diǎn)制備需求,開(kāi)發(fā)**加熱盤(pán)適配膠體化學(xué)合成工藝!采用聚四氟乙烯密封腔體與不銹鋼加熱基體復(fù)合結(jié)構(gòu),耐有機(jī)溶劑腐蝕,且無(wú)金屬離子溶出污染量子點(diǎn)溶液!內(nèi)置高精度溫度傳感器,測(cè)溫精度達(dá)±0.1℃,溫度調(diào)節(jié)范圍25℃-300℃,支持0.1℃/分鐘的慢速升溫,為量子點(diǎn)成核、生長(zhǎng)提供精細(xì)熱環(huán)境!配備磁力攪拌協(xié)同系統(tǒng),使溶液溫度與攪拌速率同步可控,確保量子點(diǎn)尺寸均一性(粒徑偏差小于5%)!與中科院化學(xué)所等科研團(tuán)隊(duì)合作,成功制備CdSe、PbS等多種量子點(diǎn),其熒光量子產(chǎn)率達(dá)80%以上,為量子點(diǎn)顯示、生物成像等領(lǐng)域提供**制備設(shè)備!徐州高精度均溫加熱盤(pán)定制結(jié)構(gòu)緊湊安裝便捷,多重安全保護(hù),使用安心無(wú)顧慮。

國(guó)瑞熱控薄膜沉積**加熱盤(pán)以精細(xì)溫控助力半導(dǎo)體涂層質(zhì)量提升,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復(fù)合結(jié)構(gòu),表面粗糙度Ra控制在0.08μm以內(nèi),減少薄膜沉積過(guò)程中的界面缺陷!加熱元件采用螺旋狀分布設(shè)計(jì),配合均溫層優(yōu)化,使加熱面溫度均勻性達(dá)±0.5℃,確保薄膜厚度偏差小于5%!設(shè)備支持溫度階梯式調(diào)節(jié)功能,可根據(jù)沉積材料特性設(shè)定多段溫度曲線,適配氧化硅、氮化硅等不同薄膜的生長(zhǎng)需求!工作溫度范圍覆蓋100℃至500℃,升溫速率12℃/分鐘,且具備快速冷卻通道,縮短工藝間隔時(shí)間!通過(guò)與拓荊科技、北方華創(chuàng)等設(shè)備廠商的聯(lián)合調(diào)試,已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備的完美適配,為半導(dǎo)體器件的絕緣層、鈍化層制備提供穩(wěn)定加熱環(huán)境!
針對(duì)半導(dǎo)體制造中的高真空工藝需求,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)**真空密封組件,確保加熱盤(pán)在真空環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行!組件采用氟橡膠與金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃,可長(zhǎng)期在10??Pa真空環(huán)境下使用無(wú)泄漏!密封件與加熱盤(pán)接口精細(xì)匹配,通過(guò)多道密封設(shè)計(jì)提升真空密封性,避免反應(yīng)腔體內(nèi)真空度下降影響工藝質(zhì)量!組件安裝過(guò)程簡(jiǎn)單,無(wú)需特殊工具,且具備良好的耐磨性與抗老化性能,使用壽命超5000次拆裝循環(huán)!適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤(pán),與國(guó)產(chǎn)真空設(shè)備廠商的反應(yīng)腔體兼容,為半導(dǎo)體制造中的高真空環(huán)境提供可靠密封保障,助力提升工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率!熱解決方案伙伴,深入探討共同優(yōu)化工藝熱管理環(huán)節(jié)。

為解決加熱盤(pán)長(zhǎng)期使用后的溫度漂移問(wèn)題,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)**校準(zhǔn)模塊,成為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的精度保障利器!模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設(shè)計(jì),測(cè)溫精度達(dá)±0.05℃,可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍,適配不同材質(zhì)加熱盤(pán)的校準(zhǔn)需求!配備便攜式數(shù)據(jù)采集終端,支持實(shí)時(shí)顯示溫度分布曲線與偏差分析,數(shù)據(jù)可通過(guò)USB導(dǎo)出形成校準(zhǔn)報(bào)告!校準(zhǔn)過(guò)程無(wú)需拆卸加熱盤(pán),通過(guò)磁吸式貼合加熱面即可完成檢測(cè),單臺(tái)設(shè)備校準(zhǔn)時(shí)間縮短至30分鐘以內(nèi)!適配國(guó)瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤(pán),同時(shí)兼容Kyocera、CoorsTek等國(guó)際品牌產(chǎn)品,幫助企業(yè)建立完善的溫度校準(zhǔn)體系,確保工藝參數(shù)的一致性與可追溯性!獨(dú)特加熱元件設(shè)計(jì),熱效率大幅提升,節(jié)能環(huán)保同時(shí)保證長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。楊浦區(qū)刻蝕晶圓加熱盤(pán)
深厚熱控經(jīng)驗(yàn),針對(duì)性選型建議,解決應(yīng)用難題。吉林晶圓鍵合加熱盤(pán)廠家
針對(duì)半導(dǎo)體晶圓研磨后的應(yīng)力釋放需求,國(guó)瑞熱控**加熱盤(pán)以溫和溫控助力晶圓性能穩(wěn)定!采用鋁合金基體與柔性導(dǎo)熱墊層復(fù)合結(jié)構(gòu),導(dǎo)熱墊層硬度ShoreA30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞!溫度調(diào)節(jié)范圍30℃-150℃,控溫精度±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫5℃-10℃,保溫10-30分鐘),緩慢釋放晶圓內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力!配備氮?dú)獗Wo(hù)系統(tǒng),避免加熱過(guò)程中晶圓表面氧化,且加熱盤(pán)表面粗糙度Ra小于0.05μm,無(wú)顆粒劃傷晶圓風(fēng)險(xiǎn)!與硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)、中環(huán)股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低20%以上,提升后續(xù)光刻、刻蝕工藝的良率!吉林晶圓鍵合加熱盤(pán)廠家
無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來(lái)、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來(lái)的道路上大放光明,攜手共畫(huà)藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來(lái)公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來(lái),公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來(lái)贏得市場(chǎng),我們一直在路上!