國瑞熱控高真空半導(dǎo)體加熱盤,專為半導(dǎo)體精密制造的真空環(huán)境設(shè)計,實現(xiàn)無污染加熱解決方案!產(chǎn)品采用特殊密封結(jié)構(gòu)與高純材質(zhì)制造,所有部件均經(jīng)過真空除氣處理,在10??Pa高真空環(huán)境下無揮發(fā)性物質(zhì)釋放,避免污染晶圓表面!加熱元件采用嵌入式設(shè)計,與基材緊密結(jié)合,熱量傳遞損耗降低30%,熱效率***提升!通過內(nèi)部溫度場模擬優(yōu)化,加熱面均溫性達±1℃,適配光學(xué)器件鍍膜、半導(dǎo)體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景!設(shè)備可耐受反復(fù)升溫降溫循環(huán),在-50℃至500℃溫度區(qū)間內(nèi)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,為高真空環(huán)境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障!專業(yè)售后服務(wù)團隊,快速響應(yīng)及時處理,保障您的生產(chǎn)不間斷。嘉定區(qū)涂膠顯影加熱盤定制

國瑞熱控依托10余年半導(dǎo)體加熱盤研發(fā)經(jīng)驗,提供全流程定制化研發(fā)服務(wù),滿足客戶特殊工藝需求!服務(wù)流程涵蓋需求分析、方案設(shè)計、原型制作、性能測試、批量生產(chǎn)五大環(huán)節(jié),可根據(jù)客戶提供的工藝參數(shù)(溫度范圍、控溫精度、尺寸規(guī)格、環(huán)境要求等),定制特殊材質(zhì)(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結(jié)構(gòu)(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤!配備專業(yè)研發(fā)團隊(含材料學(xué)、熱力學(xué)、機械設(shè)計工程師),采用ANSYS溫度場仿真軟件優(yōu)化設(shè)計方案,原型樣品交付周期**短10個工作日,且提供3次**方案迭代!已為國內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備廠商定制**加熱盤,如為某企業(yè)開發(fā)的真空腔體集成加熱盤,實現(xiàn)加熱與勻氣功能一體化,滿足其特殊制程的空間限制需求!南京探針測試加熱盤生產(chǎn)廠家無錫國瑞熱控科技,專注加熱盤研發(fā)制造,是您值得信賴的合作伙伴。

針對半導(dǎo)體載板制造中的溫控需求,國瑞熱控**加熱盤以高穩(wěn)定性適配載板鉆孔、電鍍等工藝!采用不銹鋼基材經(jīng)硬化處理,表面硬度達HRC50以上,耐受載板加工過程中的機械沖擊無變形!加熱元件采用蛇形分布設(shè)計,加熱面溫度均勻性達±1℃,溫度調(diào)節(jié)范圍40℃-180℃,適配載板預(yù)加熱、樹脂固化等環(huán)節(jié)!配備真空吸附系統(tǒng),可牢固固定不同尺寸載板(50mm×50mm至300mm×300mm),避免加工過程中位移導(dǎo)致的精度偏差!與深南電路、興森快捷等載板廠商合作,支持BT樹脂、玻璃纖維等不同材質(zhì)載板加工,為Chiplet封裝、扇出型封裝提供高質(zhì)量載板保障!
針對半導(dǎo)體制造中的高真空工藝需求,國瑞熱控開發(fā)**真空密封組件,確保加熱盤在真空環(huán)境下穩(wěn)定運行!組件采用氟橡膠與金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃,可長期在10??Pa真空環(huán)境下使用無泄漏!密封件與加熱盤接口精細匹配,通過多道密封設(shè)計提升真空密封性,避免反應(yīng)腔體內(nèi)真空度下降影響工藝質(zhì)量!組件安裝過程簡單,無需特殊工具,且具備良好的耐磨性與抗老化性能,使用壽命超5000次拆裝循環(huán)!適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤,與國產(chǎn)真空設(shè)備廠商的反應(yīng)腔體兼容,為半導(dǎo)體制造中的高真空環(huán)境提供可靠密封保障,助力提升工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率!多種規(guī)格靈活定制,國瑞加熱盤滿足您的特殊應(yīng)用需求。

針對晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部過熱導(dǎo)致的晶圓翹曲!溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋50℃至150℃,支持階梯式升溫程序,適配不同清洗液的烘干需求!設(shè)備整體采用無死角結(jié)構(gòu)設(shè)計,清潔時*需用高純酒精擦拭即可,符合半導(dǎo)體制造的高潔凈標準,為清洗后晶圓的干燥質(zhì)量與后續(xù)工藝銜接提供保障!高效穩(wěn)定耐用三大優(yōu)勢,國瑞加熱盤經(jīng)得起時間考驗。重慶探針測試加熱盤供應(yīng)商
表面特殊處理,耐腐蝕易清潔,適用化學(xué)食品領(lǐng)域。嘉定區(qū)涂膠顯影加熱盤定制
國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結(jié)構(gòu)設(shè)計適配高潔凈需求,采用316L不銹鋼經(jīng)電解拋光處理,表面粗糙度Ra小于0.05μm,無顆粒脫落風(fēng)險!加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達90%的腐蝕環(huán)境,電氣強度達2000V/1min!通過底部波浪形加熱面設(shè)計,使槽內(nèi)溶液形成自然對流,溫度均勻性達±0.8℃,溫度調(diào)節(jié)范圍25℃-120℃!配備防干燒與泄漏檢測系統(tǒng),與盛美上海等清洗設(shè)備廠商適配,符合半導(dǎo)體制造Class1潔凈標準,為晶圓清洗后的表面質(zhì)量提供保障!嘉定區(qū)涂膠顯影加熱盤定制
無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團結(jié)一致,共同進退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗,才能繼續(xù)上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!