高純氣體管道的設計要點:1.對于不同特性的氣體,要規劃單獨的供應區域,一般分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。2.管道設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4”~3/8”。我們專注高純度供氣系統工程,助力制造企業技術騰飛。吉林電子特氣管道系統廠家

特氣管道系統的設計與規模,直接反映了制造工廠的技術等級與產能。一條先進的12英寸晶圓產線,其特氣系統可能涉及數十種氣體、長達數公里的雙套管網絡、上百個VMB/VMP,投資巨大。它的穩定運行,是保障納米級芯片制造工藝重復性、一致性的基礎,是工廠連續不停產的前提。隨著半導體工藝向3nm、2nm等更先進節點邁進,對特氣的純度要求近乎苛刻,對系統提出了更高挑戰。未來系統將追求更優的出氣率控制、更快速的響應與切換、更智能的風險模擬與安全聯動。新材料如高性能涂層技術、更先進的泄漏探測技術(如激光光譜)的應用,將推動特氣系統向更高安全等級和更優性能演進。河南氣體充裝系統價格杰瑞斯特機電以專業技術和豐富經驗,成為企業值得信賴的合作伙伴。

大宗特氣系統的應用受益于污染控制的進步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續性,降低了屢次充裝的污染風險,其次在氣站建設時候做好每個單元模塊的功能架構,使得大宗氣體也可以保持高的純度。另外,液態氣體使用前的預熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;氮氣吹掃起源等等。
工業集中供氣系統是一種現代化集中供氣,這種現代化的供氣方法得到了社會普遍認可,它是一種將氣源通過管路設計集中匯流到用氣點的現代化供氣設計;這種集中供氣方式很大地提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀,氣體輸出更加的穩定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統氣瓶供氣方式相比具有相當大的優勢。普遍運用于化工、造船、玻璃、食品、輕工、鋼鐵、電子、交通運輸及航空航天等多個領域。交鑰匙式工程服務,從設計到投產全程負責,讓您省心。

高純氣體管道是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵,包括系統的設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來以大規模集成電路為主的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。高純氣體管道輸送管道,要根據工藝過程對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同,采用相應質量的管材。比如半導體產業因其生產工藝復雜、加工精細,它不僅要求有潔凈的生產環境,而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求,從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術,對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格,10-6(ppm級)已經不能達到要求,需要達到10-9(ppb級),甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。在半導體工廠,我們的系統為光刻、刻蝕、CVD等工序提供氣體支持。尾氣處理系統廠家
微電子行業對痕量雜質極其敏感,我們的系統能實現氣體的超純輸送。吉林電子特氣管道系統廠家
可燃/有毒氣體探測器負責對生產現場的各種氣體的檢測,并將采集的氣體濃度轉換成模擬信號。數據采集模塊將采集到的信號,以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上,GDS控制單元根據檢測值分別與各自的報警上/下限進行比較,當某個探測器檢測到的濃度超過上限或低于下限時,GDS控制單元通過DO模塊輸出報警信號,開啟聲光報警器并開啟或關閉相關設備。操作人員可以通過工控機的觸摸屏、操作員站和工程師站等人機交互界面,實時監視廠區內所有檢測點的情況,主要有氣體濃度值,報警上限,實時曲線和歷史數據等。當發生報警時也可以通過工控機進行消音和報警響應。吉林電子特氣管道系統廠家
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