工業集中供氣系統是一種現代化集中供氣,這種現代化的供氣方法得到了社會普遍認可,它是一種將氣源通過管路設計集中匯流到用氣點的現代化供氣設計;這種集中供氣方式很大地提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀,氣體輸出更加的穩定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統氣瓶供氣方式相比具有相當大的優勢。主要組成由氣源,匯流裝置,配比裝置,切換裝置,調壓裝置,終端用起點,監控及報警裝置等組成致力于降低客戶運營成本,提升綜合競爭力。遼寧潔凈氣體管道系統價格

根據用氣設備的分布情況,高純氣體的管網不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環形管路,在系統末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關順序、系統吹除,以確保供氣系統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留污染物,降低氣體純度。河北氣體充裝系統集中供氣系統通過儲罐和環狀管網,為大型車間提供不間斷氣源。

廢氣處理特性半導體工藝中常使用的化學物質及其副產物,一般依照其化學特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對環境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導體廠都以加裝大型廢氣處理系統.但此系統以水洗滌廢氣.故其應用范圍限于處理水溶性氣體,無法因應日新月異且分工細微的半導體工藝廢氣.因此必須依據各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應的廢氣處理設備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區域多半離廢氣處理系統前,常因氣體特性導致管路中結晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導致氣體泄漏,嚴重者甚至引起爆,無法確保現場工作人員之工作安全.因此在工作區域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設備(LocalScrubber),以減少在工作區域滯留的廢氣,確保人員安全。
特種氣體采用單獨氣源,多用點采用VMB或VMP分路供應,VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于系統氣源總量大,多采用單獨的氣體房,單獨的抽風系統除了簡單的供氣系統以外,特氣房一般都單獨于主場房而單獨建設,其規劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。常規供氣系統一般也采用多種氣瓶柜共設在一個氣體室;而對于大宗特氣,會根據氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風,氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。公司專注于為制造業提供高純度氣體系統工程一體化解決方案。

可燃/有毒氣體探測器負責對生產現場的各種氣體的檢測,并將采集的氣體濃度轉換成模擬信號。數據采集模塊將采集到的信號,以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上,GDS控制單元根據檢測值分別與各自的報警上/下限進行比較,當某個探測器檢測到的濃度超過上限或低于下限時,GDS控制單元通過DO模塊輸出報警信號,開啟聲光報警器并開啟或關閉相關設備。操作人員可以通過工控機的觸摸屏、操作員站和工程師站等人機交互界面,實時監視廠區內所有檢測點的情況,主要有氣體濃度值,報警上限,實時曲線和歷史數據等。當發生報警時也可以通過工控機進行消音和報警響應。提供一體化高純工藝方案,為半導體等行業奠定堅實基石。江西大宗氣體系統哪家好
深耕生物醫藥領域,為制藥潔凈環境提供氣體保障。遼寧潔凈氣體管道系統價格
高純氣體管道是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵,包括系統的設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來以大規模集成電路為主的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。高純氣體管道輸送管道,要根據工藝過程對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同,采用相應質量的管材。比如半導體產業因其生產工藝復雜、加工精細,它不僅要求有潔凈的生產環境,而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求,從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術,對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格,10-6(ppm級)已經不能達到要求,需要達到10-9(ppb級),甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體的要求成為必須。遼寧潔凈氣體管道系統價格
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