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管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口,以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。尾氣處理Local Scrubber通常安裝在工藝設(shè)備附近,進(jìn)行就地高效處理。湖北特氣系統(tǒng)多少錢(qián)

管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長(zhǎng),成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng);宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。河南電子特氣管道系統(tǒng)廠(chǎng)家模塊化設(shè)計(jì)理念,便于系統(tǒng)未來(lái)擴(kuò)容與升級(jí)改造。

大宗特氣系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在不斷加速。過(guò)去,我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的大宗特氣系統(tǒng)主要設(shè)備與技術(shù)多依賴(lài)進(jìn)口,不僅成本高昂,而且在技術(shù)服務(wù)與備件供應(yīng)方面存在諸多不便。近年來(lái),隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展與國(guó)家對(duì)主要技術(shù)自主可控的重視,國(guó)內(nèi)企業(yè)加大了對(duì)大宗特氣系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的研發(fā)投入,在設(shè)備制造、工藝設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成等方面取得了明顯突破。越來(lái)越多的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備與系統(tǒng)開(kāi)始應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠(chǎng),不僅降低了企業(yè)的投資成本,而且提升了系統(tǒng)的運(yùn)維響應(yīng)速度。未來(lái),隨著國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的不斷成熟,大宗特氣系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率將進(jìn)一步提高,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展提供有力支撐。
生物制藥管道系統(tǒng)提供全方面的生物制藥管道工程、純水管道、純蒸汽管道、潔凈壓縮空氣管道、無(wú)菌工藝管道、工藝模塊、工藝設(shè)備等的現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試服務(wù)。
廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠(chǎng)都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無(wú)法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類(lèi),選擇搭配相對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問(wèn)題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆,無(wú)法確保現(xiàn)場(chǎng)工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。 我們承建的潔凈氣體管道工程,有效控制顆粒物與雜質(zhì),滿(mǎn)足潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。

特氣管道系統(tǒng)是指SiH4,NF3,Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性,應(yīng)確保安全性的特氣儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱(chēng),特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣系統(tǒng);排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng);建立以安全為首的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。特氣管道系統(tǒng)由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類(lèi)設(shè)備組成。其中“存儲(chǔ)”指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管部分(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。電子特氣系統(tǒng)解決方案確保危險(xiǎn)及特種氣體在輸送過(guò)程中的安全與精確。湖北特氣系統(tǒng)多少錢(qián)
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控制設(shè)備是特氣管道系統(tǒng)的“大腦中樞”,以氣體管理系統(tǒng)(GMS)為主,實(shí)現(xiàn)對(duì)全系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)視與智能調(diào)控。GMS通過(guò)各類(lèi)傳感器實(shí)時(shí)采集儲(chǔ)存、輸送、分配各環(huán)節(jié)的壓力、流量、溫度、氣體濃度等關(guān)鍵參數(shù),將數(shù)據(jù)匯總至控制平臺(tái)進(jìn)行分析處理。當(dāng)系統(tǒng)出現(xiàn)參數(shù)異常或氣體泄漏等情況時(shí),GMS可自動(dòng)發(fā)出報(bào)警信號(hào),并聯(lián)動(dòng)觸發(fā)緊急切斷、泄壓、排風(fēng)等應(yīng)急措施,同時(shí)支持人工遠(yuǎn)程操控,全方面保障系統(tǒng)運(yùn)行安全。特氣管道系統(tǒng)的工程實(shí)施需遵循嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范,每一個(gè)環(huán)節(jié)都關(guān)乎系統(tǒng)終的安全性能。在設(shè)計(jì)階段,需進(jìn)行全方面的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與工藝適配分析;設(shè)備制造環(huán)節(jié)需嚴(yán)格把控材質(zhì)質(zhì)量與加工精度;安裝過(guò)程中要確保管道敷設(shè)、設(shè)備對(duì)接的規(guī)范性;測(cè)試與調(diào)試則需對(duì)系統(tǒng)的各項(xiàng)性能參數(shù)進(jìn)行全方面驗(yàn)證,包括泄漏檢測(cè)、壓力調(diào)控精度、應(yīng)急響應(yīng)靈敏度等,確保系統(tǒng)符合安全運(yùn)行要求。湖北特氣系統(tǒng)多少錢(qián)
上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在上海市等地區(qū)的建筑、建材中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!