高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn):1.對(duì)于不同特性的氣體,要規(guī)劃單獨(dú)的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個(gè)區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長(zhǎng),成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。交鑰匙式工程服務(wù),從設(shè)計(jì)到投產(chǎn)全程負(fù)責(zé),讓您省心。遼寧大宗特氣系統(tǒng)找哪家

集中供氣系統(tǒng)與氣瓶供氣相比的優(yōu)勢(shì)1、杜絕氣瓶留余壓的浪費(fèi),降低用氣成本。2、使用方便、操作簡(jiǎn)單,減少頻繁換氣瓶的繁瑣勞動(dòng)。3、液體密閉存儲(chǔ),儲(chǔ)量大,質(zhì)量穩(wěn)定。4、排除了氣瓶在使用和保管過(guò)程中的易發(fā)生的碰撞、氣帶磨損、安全間距等危險(xiǎn)性。
工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣,這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會(huì)普遍認(rèn)可,它是一種將氣源通過(guò)管路設(shè)計(jì)集中匯流到用氣點(diǎn)的現(xiàn)代化供氣設(shè)計(jì);這種集中供氣方式很大地提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀,氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統(tǒng)氣瓶供氣方式相比具有相當(dāng)大的優(yōu)勢(shì)。 河南高純氣體管道系統(tǒng)我們?cè)O(shè)計(jì)安裝大宗氣體系統(tǒng),保障半導(dǎo)體工廠的穩(wěn)定、純凈氣源供應(yīng)。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:實(shí)驗(yàn)室供氣有二級(jí)減壓和多級(jí)減壓,二級(jí)減壓即氣瓶端采用一級(jí)減壓閥和末端采用一級(jí)減壓閥來(lái)達(dá)到二級(jí)減壓的目的。實(shí)驗(yàn)室一般推薦采用二級(jí)減壓,這樣可以保證氣體的純度和節(jié)約成本,也能達(dá)到多級(jí)減壓的效果(推薦)多級(jí)減壓即氣瓶端采用二級(jí)減壓閥或多級(jí)減壓閥和末端采用二級(jí)減壓閥或多級(jí)減壓閥來(lái)達(dá)到多級(jí)減壓的目的。減壓效果同二級(jí)減壓效果差不多,但成本會(huì)更高;實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室,安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放,方便用戶集中檢查,節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí),也當(dāng)然存在安全隱患,但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話,危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失
大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一,直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計(jì),能夠在氣柜存儲(chǔ)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式,大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴(yán)苛的品質(zhì)控制能力,可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對(duì)氣體雜質(zhì)含量的極低要求,其供氣流量大、連續(xù)性強(qiáng)的特點(diǎn),確保了光刻、薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)不受氣體波動(dòng)影響,從而保障芯片的性能與可靠性。致力于降低客戶運(yùn)營(yíng)成本,提升綜合競(jìng)爭(zhēng)力。

特氣管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與規(guī)模,直接反映了制造工廠的技術(shù)等級(jí)與產(chǎn)能。一條先進(jìn)的12英寸晶圓產(chǎn)線,其特氣系統(tǒng)可能涉及數(shù)十種氣體、長(zhǎng)達(dá)數(shù)公里的雙套管網(wǎng)絡(luò)、上百個(gè)VMB/VMP,投資巨大。它的穩(wěn)定運(yùn)行,是保障納米級(jí)芯片制造工藝重復(fù)性、一致性的基礎(chǔ),是工廠連續(xù)不停產(chǎn)的前提。隨著半導(dǎo)體工藝向3nm、2nm等更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)邁進(jìn),對(duì)特氣的純度要求近乎苛刻,對(duì)系統(tǒng)提出了更高挑戰(zhàn)。未來(lái)系統(tǒng)將追求更優(yōu)的出氣率控制、更快速的響應(yīng)與切換、更智能的風(fēng)險(xiǎn)模擬與安全聯(lián)動(dòng)。新材料如高性能涂層技術(shù)、更先進(jìn)的泄漏探測(cè)技術(shù)(如激光光譜)的應(yīng)用,將推動(dòng)特氣系統(tǒng)向更高安全等級(jí)和更優(yōu)性能演進(jìn)。用專業(yè)詮釋品質(zhì),以服務(wù)贏得未來(lái),我們始終在路上。重慶氣體充裝系統(tǒng)哪家好
電子特氣系統(tǒng)解決方案確保危險(xiǎn)及特種氣體在輸送過(guò)程中的安全與精確。遼寧大宗特氣系統(tǒng)找哪家
上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高純度供應(yīng)系統(tǒng)工程的企業(yè),致力于為先進(jìn)制造業(yè)的高科技企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的一體化解決方案,為客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、潔凈氣體管道、Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)及機(jī)電工程安裝等工程項(xiàng)目設(shè)計(jì)安裝交鑰匙式高性能和高質(zhì)量的解決方案。工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、光纖、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)、高校院校等高技術(shù)領(lǐng)域行業(yè)。遼寧大宗特氣系統(tǒng)找哪家
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