針對12英寸及以上大尺寸晶圓的制造需求，國瑞熱控大尺寸半導體加熱盤以創新結構設計實現高效溫控！產品采用多模塊拼接式結構，單模塊加熱面積可達1500cm2，通過標準化接口可靈活組合成更大尺寸加熱系統，適配不同產能的生產線需求！每個模塊配備**溫控單元，通過**控制系統協同工作，確保整個加熱面溫度均勻性控制在±1.5℃以內！采用輕量化**度基材，在保證結構穩定性的同時降低設備重量，便于安裝與維護！表面經精密加工確保平整度，與大尺寸晶圓完美貼合，減少熱傳導損耗，為先進制程中大規模晶圓的均勻加熱提供可靠解決方案！專業應用工程師團隊，提供工藝優化建議，創造更大價值。徐州刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

國瑞熱控針對氮化鎵外延生長工藝，開發**加熱盤適配MOCVD設備需求！采用高純石墨基材表面噴涂氮化鋁涂層，在1200℃高溫下熱膨脹系數與藍寶石襯底匹配，避免襯底開裂風險，熱導率達150W/mK，確保熱量均勻傳遞至襯底表面！內部設計8組**加熱模塊，通過PID精密控制實現±0.5℃的控溫精度，精細匹配氮化鎵外延層生長的溫度窗口（1050℃-1150℃）！設備配備惰性氣體導流通道，減少反應氣體湍流導致的薄膜缺陷，與中微公司MOCVD設備聯合調試，使外延層厚度均勻性誤差控制在3%以內，為5G射頻器件、電力電子器件量產提供**溫控支持！上海晶圓加熱盤生產廠家加熱盤及配套一站式，省時省心，長期可信賴供應商。

國瑞熱控推出半導體加熱盤專項維修服務，針對加熱元件老化、溫度均勻性下降等常見問題提供系統解決方案！服務流程涵蓋外觀檢測、絕緣性能測試、溫度場掃描等12項檢測項目，精細定位故障點！采用原廠匹配的氮化鋁陶瓷基材與加熱元件，維修后的加熱盤溫度均勻性恢復至±1℃以內，使用壽命延長至新設備的80%以上！配備專業維修團隊，可提供上門服務與設備現場調試，單臺維修周期控制在7個工作日以內，大幅縮短生產線停機時間！建立維修檔案與質保體系，維修后提供6個月質量保障，為企業降低設備更新成本，提升資產利用率！

針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質，經電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕！加熱盤內置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風險，同時具備1500V/1min的電氣強度，使用安全可靠！通過底部加熱與側面保溫設計，使溶液溫度均勻性控制在±1℃以內，溫度調節范圍覆蓋25℃至100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求！配備高精度溫度傳感器，實時監測溶液溫度，當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節，確保化學反應平穩進行！設備適配不同規格的濕法工藝槽體，可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障！模塊化設計便于維護更換，減少停機時間，提升產能。

面向深紫外光刻工藝對晶圓預處理的需求，國瑞熱控配套加熱盤以微米級溫控助力圖形精度提升！采用鋁合金基體與石英玻璃復合結構，加熱面平面度誤差小于0.01mm，確保晶圓與光刻掩膜緊密貼合！通過紅外加熱與接觸式導熱協同技術，升溫速率達15℃/分鐘，溫度調節范圍60℃-120℃，控溫精度±0.3℃，適配光刻膠軟烘、堅膜等預處理環節！表面經防反射涂層處理，減少深紫外光反射干擾，且具備快速冷卻功能，從120℃降至室溫*需8分鐘，縮短工藝間隔！與上海微電子光刻機適配，使光刻圖形線寬偏差控制在5nm以內，滿足90nm至28nm制程的精密圖形定義需求！大小功率齊全，靈活匹配實驗裝置與工業設備需求。浙江刻蝕晶圓加熱盤非標定制

專業定制加熱盤，快速升溫壽命長，滿足半導體醫療科研需求。徐州刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結構設計適配高潔凈需求，采用316L不銹鋼經電解拋光處理，表面粗糙度Ra小于0.05μm，無顆粒脫落風險！加熱元件采用氟塑料密封封裝，與清洗液完全隔離，耐受酸堿濃度達90%的腐蝕環境，電氣強度達2000V/1min！通過底部波浪形加熱面設計，使槽內溶液形成自然對流，溫度均勻性達±0.8℃，溫度調節范圍25℃-120℃！配備防干燒與泄漏檢測系統，與盛美上海等清洗設備廠商適配，符合半導體制造Class1潔凈標準，為晶圓清洗后的表面質量提供保障！徐州刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！