國(guó)瑞熱控依托10余年半導(dǎo)體加熱盤研發(fā)經(jīng)驗(yàn),提供全流程定制化研發(fā)服務(wù),滿足客戶特殊工藝需求!服務(wù)流程涵蓋需求分析、方案設(shè)計(jì)、原型制作、性能測(cè)試、批量生產(chǎn)五大環(huán)節(jié),可根據(jù)客戶提供的工藝參數(shù)(溫度范圍、控溫精度、尺寸規(guī)格、環(huán)境要求等),定制特殊材質(zhì)(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結(jié)構(gòu)(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤!配備專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)(含材料學(xué)、熱力學(xué)、機(jī)械設(shè)計(jì)工程師),采用ANSYS溫度場(chǎng)仿真軟件優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,原型樣品交付周期**短10個(gè)工作日,且提供3次**方案迭代!已為國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備廠商定制**加熱盤,如為某企業(yè)開(kāi)發(fā)的真空腔體集成加熱盤,實(shí)現(xiàn)加熱與勻氣功能一體化,滿足其特殊制程的空間限制需求!高效穩(wěn)定耐用三大優(yōu)勢(shì),國(guó)瑞加熱盤經(jīng)得起時(shí)間考驗(yàn)。半導(dǎo)體晶圓加熱盤供應(yīng)商

國(guó)瑞熱控半導(dǎo)體加熱盤**散熱系統(tǒng),為設(shè)備快速降溫與溫度穩(wěn)定提供有力支持!系統(tǒng)采用水冷與風(fēng)冷復(fù)合散熱方式,水冷通道圍繞加熱盤均勻分布,配合高轉(zhuǎn)速散熱風(fēng)扇,可在10分鐘內(nèi)將加熱盤溫度從500℃降至室溫,大幅縮短工藝間隔時(shí)間!散熱系統(tǒng)配備智能溫控閥,根據(jù)加熱盤實(shí)時(shí)溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)水流量與風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,避免過(guò)度散熱導(dǎo)致的能耗浪費(fèi)!采用耐腐蝕管路與密封件,在長(zhǎng)期使用過(guò)程中無(wú)漏水風(fēng)險(xiǎn),且具備壓力監(jiān)測(cè)與報(bào)警功能,確保系統(tǒng)運(yùn)行安全!適配高溫工藝后的快速降溫需求,與國(guó)瑞加熱盤協(xié)同工作,形成完整的溫度控制閉環(huán),為半導(dǎo)體制造中多工藝環(huán)節(jié)的連續(xù)生產(chǎn)提供保障!河北刻蝕晶圓加熱盤生產(chǎn)廠家精確穩(wěn)定溫度環(huán)境,提升產(chǎn)品良率,助力降本增效。

國(guó)瑞熱控推出半導(dǎo)體加熱盤**溫度監(jiān)控軟件,實(shí)現(xiàn)加熱過(guò)程的數(shù)字化管理與精細(xì)控制!軟件具備實(shí)時(shí)溫度顯示功能,可通過(guò)圖表直觀呈現(xiàn)加熱盤各區(qū)域溫度變化曲線,支持多臺(tái)加熱盤同時(shí)監(jiān)控,方便生產(chǎn)線集中管理!內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出功能,可自動(dòng)記錄加熱過(guò)程中的溫度參數(shù),存儲(chǔ)時(shí)間長(zhǎng)達(dá)1年,便于工藝追溯與質(zhì)量分析!具備溫度異常報(bào)警功能,當(dāng)加熱盤溫度超出設(shè)定范圍或出現(xiàn)波動(dòng)異常時(shí),自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警并記錄異常信息,提醒操作人員及時(shí)處理!軟件兼容Windows與Linux操作系統(tǒng),通過(guò)以太網(wǎng)與加熱盤控制系統(tǒng)連接,安裝調(diào)試便捷,適配國(guó)瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤,為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的智能化管理提供技術(shù)支持!
借鑒空間站“雙波長(zhǎng)激光加熱”原理,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤,適配極端高溫材料制備!采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受3000℃以上局部高溫,配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱,實(shí)現(xiàn)“表面強(qiáng)攻+內(nèi)部滲透”的加熱效果!加熱區(qū)域直徑可在10mm-200mm間調(diào)節(jié),溫度響應(yīng)時(shí)間小于1秒,控溫精度±1℃,支持脈沖式加熱模式!設(shè)備配備紅外測(cè)溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用,為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具!表面特殊處理,耐腐蝕易清潔,適用化學(xué)食品領(lǐng)域。

國(guó)瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適配高潔凈需求,采用316L不銹鋼經(jīng)電解拋光處理,表面粗糙度Ra小于0.05μm,無(wú)顆粒脫落風(fēng)險(xiǎn)!加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達(dá)90%的腐蝕環(huán)境,電氣強(qiáng)度達(dá)2000V/1min!通過(guò)底部波浪形加熱面設(shè)計(jì),使槽內(nèi)溶液形成自然對(duì)流,溫度均勻性達(dá)±0.8℃,溫度調(diào)節(jié)范圍25℃-120℃!配備防干燒與泄漏檢測(cè)系統(tǒng),與盛美上海等清洗設(shè)備廠商適配,符合半導(dǎo)體制造Class1潔凈標(biāo)準(zhǔn),為晶圓清洗后的表面質(zhì)量提供保障!多種規(guī)格形狀靈活定制,滿足特殊需求,無(wú)錫國(guó)瑞是您可靠合作伙伴。靜安區(qū)半導(dǎo)體晶圓加熱盤供應(yīng)商
接口布線密封精心設(shè)計(jì),確保整體性能穩(wěn)定,延長(zhǎng)使用壽命。半導(dǎo)體晶圓加熱盤供應(yīng)商
針對(duì)半導(dǎo)體制造中的高真空工藝需求,國(guó)瑞熱控開(kāi)發(fā)**真空密封組件,確保加熱盤在真空環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行!組件采用氟橡膠與金屬骨架復(fù)合結(jié)構(gòu),耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃,可長(zhǎng)期在10??Pa真空環(huán)境下使用無(wú)泄漏!密封件與加熱盤接口精細(xì)匹配,通過(guò)多道密封設(shè)計(jì)提升真空密封性,避免反應(yīng)腔體內(nèi)真空度下降影響工藝質(zhì)量!組件安裝過(guò)程簡(jiǎn)單,無(wú)需特殊工具,且具備良好的耐磨性與抗老化性能,使用壽命超5000次拆裝循環(huán)!適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤,與國(guó)產(chǎn)真空設(shè)備廠商的反應(yīng)腔體兼容,為半導(dǎo)體制造中的高真空環(huán)境提供可靠密封保障,助力提升工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率!半導(dǎo)體晶圓加熱盤供應(yīng)商
無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開(kāi)拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!